Festo 的许多标准产品可专用于洁净室。
25年多来，Festo 一直在进行微粒测试，以确定标准产品在洁净室中的适用性。有 80 多个系列的电驱动和气动自动化产品适用于洁净室等级6及以上标准。也就意味着，我们可为半导体和电子元件生产以及实验室自动化和制药生产的大多数自动化任务提供解决方案。
洁净室适用性： Festo 按 VDI 2083-9 .1 标准进行测试，并按 ISO 14664-1标准进行分级。
几乎所有运动过程都会因摩擦而释放些许微粒。人眼无法看见这些微粒，但在某些生产环境中，这些微粒可能会造成生产的产品出现缺陷。一微米大小的微粒会对半导体元件内敏感的电路造成干扰。
通过独立的机构进行测试
斯图加特的弗劳恩霍夫制造工程和自动化研究院(Fraunhofer IPA)为标准产品开发了针对性测试程序。Festo 在南洋理工大学的帮助下在 Festo 新加坡公司的洁净室技术研究中心专注于研究洁净室技术。
在Festo 产品高质量标准的基础上，由自动化技术制造商提供的所有产品范围都适用于洁净室等级 7 … 9。此外，Festo 在标准产品中选取了一部分特定产品进行了测试，以确定这些产品在洁净室的适用性。这些产品的覆盖面足以满足多数自动化解决方案。超过 80 个系列的标准产品可用于 ISO 洁净室等级 6、5，甚至等级 4。 这些产品随时随地都可买到。洁净室产品概览样本下载链接：www.festo.com/supportportal，选型更可靠方便。
无需特殊设计
因为目前仍然没有标准化的洁净室国际指令，Festo 根据德国 VDI 2083-9.1标准中规定的程序进行微粒测试。随后，根据 ISO 14664-1标准所定义的洁净室等级给测试的产品进行分级。
根据测试结果显示，测试产品在洁净室条件下使用时质量仍然很高，客户通常不再需要复杂的特殊设计。Festo 为更高的标准，如ISO 等级 1 … 3，可相应地修改标准产品，也可提供定制化的特殊解决方案。
直接测量微粒
VDI 2083-9.1标准中的微粒直接测量法用于测试产品，以确定产品在洁净室条件下的适用性。Festo 参与了 VDI 标准的起草，自2006年底该标准颁布后，一直在用该标准定义的程序进行测试。通过直接测量法，对于一个测试物体有很大可能出现微粒的关键区域首先进行识别，如气缸活塞杆密封件周围的区域。
这要求在一个“微环境”中用一个探针对测试物体进行扫描，并再现ISO 14644-1 标准中所定义的洁净室等级3 的条件。在气缸以80%的最大许用负载进行运动时，对由摩擦产生的微粒浓度测量 100 分钟。周详的测试确保测试产品完全可用于洁净室条件。测试的精确度为客户洁净室生产的高可靠性提供了长期保证。
非常适用于洁净室的产品：
平面门架 EXCM (ISO 5)
电缸 EGC-BS (ISO5)
小型滑台式气缸DGSL (ISO 5)
紧凑型气缸 ADN (ISO4)
通过直接测量法，在测试物体上的关键区域直接进行测量。
