半导体所“氮化镓基LED用蓝宝石图形衬底关键技术研究”项目通过验收

近日，由中国科学院半导体研究所承担的北京市科委“氮化镓基LED用蓝宝石图形衬底关键技术研究”项目顺利通过北京市科委组织专家组验收。专家们一致认为：项目的实施有利于提高半导体照明行业自主创新能力和产业竞争力，对推动北京市乃至全国半导体照明行业上游关键材料的发展具有重要的意义。

在北京市科委和北京市新材料中心的组织协调下，多位专家组成验收组对该项目进行了全面详实的验收考核，专家组成员有：北京工业大学教授沈光地、北京交通大学教授徐征、中国科学院物理研究所研究员顾长志、中国科学院微电子研究所研究员刘明、国家纳米科学中心研究员江潮、清华大学研究员李群庆、北京大学微电子学系教授王金延。期间验收组认真听取了由半导体所项目负责人、所长助理杨富华研究员和集成中心高级工程师樊中朝所做的项目和课题研究报告、用户使用、测试和经费审计报告，验收组成员亲自现场考察了月产能5000片的PSS中试工艺线。通过审议指标和现场考察，验收组充分讨论并一致同意项目通过验收。

参加项目验收的还有：北京市科委新材料处主管工程师关璐、北京新材料发展中心高级项目主管谢潜思、科研管理与质量控制处处长鉴海防、科研管理与质量控制处主管钟鑫、集成中心副主任王晓东研究员、照明中心副主任伊晓燕研究员、集成中心季安研究员以及相关工艺技术人员。