继MEMS陀螺仪(相关报道)之后,另一种正在迅速发展的MEMS器件是显示器用光学扫描器件,实际上,目前很多企业也都在大力开发相关技术。土耳其Ko?大学的Urey教授在TRANSDUCERS 2013上发表演讲,介绍了采用MEMS光学扫描
MEMS传感器的趋势之一是小型化与低成本化,而另一趋势则是高性能化。1990年前后MEMS陀螺仪的随机游走(Random Walk)性能为100°/√h左右,现在则提高到了0.1°/√h左右(图1)。20年内提高了约1000倍。陀螺仪的尺寸
近日,集成微纳系统中心的10篇科研论文被Transducers2013&EurosensorsXXVII(第17届固态传感器、执行器与微系统国际会议及第27届欧洲传感器会议)录用,其中5篇论文的第一作者为本校的本科生,突显了微电子学科本科生