微机电系统 是微电路和微机械按功能要求在芯片上的集成，尺寸通常在毫米或微米级。MEMS技术采用了半导体技术中的光刻、腐蚀、薄膜等一系列的现有技术和材料，因此从制造技术本身来讲，MEMS中基本的制造技术是成熟的。但MEMS更侧重于超精密机械加工，并要涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。微机电系统的优点是：体积小、重量轻、功耗低、耐用性好、价格低廉、性能稳定等。
