随着芯片工艺制程的不断演进,芯片的制造变得越来越复杂!
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荷兰ASML公司 (全称: Advanced Semiconductor Material Lithography,该全称已经不作为公司标识使用,公司的注册标识为ASML Holding N.V),中文名称为阿斯麦尔(中国大陆)、艾司摩尔(中国台湾)。这是一家总部设在荷兰埃因霍芬(Eindhoven)的全球最大的半导体设备制造商之一,向全球复杂集成电路生产企业提供领先的综合性关键设备。ASML的股票分别在阿姆斯特丹及纽约上市。总部位于荷兰埃因霍芬(Eindhoven),欧洲人均科研经费排名第二的高科技公司。
2010年,其全球净销售收入超过45亿欧元。2011年,卖出222套机器 [1] ,全球净销售收入56.51亿欧元 [1] ,净利润14.67亿欧元。 [1] ASML在欧洲、亚洲及美国的50多个地区拥有9245名员工 [1] ,其中固定员工7184 [1] (欧洲4202 [1] ,亚洲1538 [1] , 美国1444 [1] ),男女比例为9:1 [1] 。截止2011年,全球市场占有率75%。
前几天,欧盟价值约3100亿元(超430亿欧元)的芯片法案正式亮相。这才没过多久,光刻机制造巨头阿斯麦(ASML)又出来念“紧箍咒”了。
就在2月9日,阿斯麦掌门人Peter Wennink表态称,欧洲不要想着只靠芯片法案的这点钱就“高枕无忧”,尤其是在芯片产业整体产能落后的情况下,有必要组建一个芯片联盟,从芯片制造、研发等环节提高自身的竞争力。
按照阿斯麦给出的数据,像中国、欧盟、日本、韩国和美国这些国家,估计在2022年对芯片行业的总投资有望达到1.9万亿(3000亿美元)。而欧盟起码要投入660亿美元的资本,才可能维持8%左右的份额,要实现全球芯片产业市占比20%的目标,起码资金投入要增加至2640亿美元。
除了列出一堆数据“教导”欧盟,阿斯麦还敲响警钟,指出欧盟再不加紧行动,估计其在全球半导体的产能将跌至4%左右。说得直白些就是,欧盟届时在全球半导体产业的地位将变得可有可无。
在过去的40年里,我们逐渐从个人电脑和移动设备时代进化到云时代,我们生活的几乎每个方面都在网上存储和管理。ASML CTO Martin van den Brink表示,数字化未来的下一步将是分布式智能,由通信、计算和人工智能的无缝集成驱动,所有这些趋势都要求更高的计算能力,这反过来又加速了对更强大、更节能的微芯片的需求。
随着芯片工艺制程的不断演进,芯片的制造变得越来越复杂。当今最先进的处理器基于Logic N5节点(5nm),包含数十亿个晶体管。下一代芯片设计将包括更先进的材料、新的封装技术和更复杂的3D设计。
而光刻技术是制造性能更强大、成本更便宜芯片的推动力。ASML的目标一直是减少芯片工艺的临界尺寸,其整体光刻产品组合(EUV、ArFi、ArF、KrF和i-line系统等)有助于优化生产,并通过将光刻系统与计算建模、计量和检测解决方案集成,帮助优化生产并实现成本的降低。
这33家企业主要包括电子、光学、药研等高新技术企业及大学实验室等,意义很明显,就是打压中国高科技,限制这些高精尖的科技发展。
而这33家企业中,我国先进光刻机供应商上海微电子亦在其中。
事实上,在北京时间2月7日,上海微电子是有一件大事情发生的,那就是举行了中国首台2.5D/3D先进封装光刻机的发运仪式。
这台最先进的先进封装光刻机,主要用于高端数据中心高性能计算(HPC)和高端AI芯片等高密度异构集成领域,可满足2.5D/3D的先进封装,据称是行业内同类产品的最高水平。
光刻系统所能达到的分辨率是光刻收缩的主要驱动因素之一,它主要由所用光的波长和光学系统的数值孔径决定。更短的波长就像用于绘画的更细的刷子,可以打印出更小的特征。更大的数值孔径可以更紧密地聚焦光线,也能够带来更好的分辨率。
ASML光刻系统的发展一直是通过减少波长和增加数值孔径来进行演进。多年来,ASML做了几个波长步长,DUV光刻系统范围从365 nm (i-line), 248 nm (KrF)到193 nm (ArF) ,而EUV光刻机的光波波长仅为13.5nm。
NA是光学系统的数值孔径,表示光线的入射角度。使用更大的NA透镜可以打印出更小的结构。除了更大的透镜外,ASML还通过在最后一个透镜元件和晶圆之间保持一层水薄膜来增加ArF系统的NA(即所谓的浸泡系统)。在波长步进到EUV之后,ASML正在开发下一代EUV系统,称为EUV 0.55 NA (HighNA),将数值孔径从0.33提高到0.55。