国产高纯电子化学品材料龙头厂商多氟多成功打入台积电供应链,国产电子级氢氟酸进入国际一流水平
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近日,国产高纯电子化学品材料龙头厂商多氟多新材料股份有限公司(以下简称“多氟多”)发布公告,宣布公司在经过台积电(南京)有限公司南京工厂(以下简称“台积电南京厂”)现场审核和多轮上线测试后,目前正式进入台积电合格供应商体系,并于近期开始向台积电南京厂批量交付高纯电子化学品材料。据了解,此次多氟多打入台积电供应链的材料为高纯电子级氢氟酸。
什么是电子级氢氟酸。高纯电子化学品又称湿电子化学品,品种类繁多,比如氢氟酸、光刻胶、氟化聚酰胺等,应用广泛,是微电子、光电子湿法工艺制程中使用的各种电子化工材料。超净高纯试剂一般要求尘埃颗粒粒径控制在 0.5µm 以下,杂质含量低于ppm 级(10-6 为 ppm,10-9 为 ppb,是 10-12为 ppt)的化学试剂,是化学试剂中对颗粒粒径控制、杂质含量要求最高的试剂。目前广泛运用于半导体、太阳能硅片、LED 和平板显示等电子元器件的清洗和蚀刻等工艺环节。
在产能方面,多氟多目前在河南的电子级氢氟酸工厂年产能为5万吨(含IC级1万吨)。另外,在多氟多2021年定增11.5亿元募投项目中显示,多氟多正在建设年产3万吨超净高纯电子级氢氟酸、年产3万吨超净高纯湿电子化学品、100吨高纯乙硅烷、100吨高纯氟氮混合气、300吨高纯四氟化硅等项目。这些项目将于今年下半年陆续建成投产,并根据市场情况逐步释放产能,以更好地满足半导体产业对电子化学品持续增长的需求。
2013年,依托自主开发的电子级氢氟酸全套新工艺,多氟多建立起万级清洗、千级灌装、百级分析室、电子级自动灌装线,制程设计为全球最高端纯化工艺UP-SSS级,氟化氢产品纯度达到ppt级,成为国内最早具备超高纯电子级氢氟酸生产能力的企业之一。
“多氟多这么多年以来一直追求同高手过招,和高手对话,然后在和高手对话的过程当中不断地提升自己。”多氟多董事长李世江说,台积电对于供应商的审查非常严格,为此多氟多高度重视、充分准备,成立了总经理挂帅的审核工作推进领导小组统筹具体工作,严格按照台积电的要求对整个体系进行完善提升。审核一共分为三个阶段,分别是文件审核、现场稽核、产品验证。2021年3月,台积电到多氟多进行了现场稽核。“整个稽核过程非常严格,详细地审查了相关文件并现场查验所有细节及数据。”李世江说。
最终,经过2年多的时间,多氟多完成了整个审核过程,依靠过硬的技术、创新的成果及稳定的品质通过了台积电的验证,成为合格供应商并开始批量供货。5月25日,多氟多在互动平台上回答“公告说的电子化学品供应台积电,具体是电子氢氟酸么?还有哪些其他产品?”的提问时,称“包括以电子级氢氟酸为代表的湿电子化学品,同时还有以电子级硅烷等特种气体为代表的干电子化学品,也正在稳定供应全球晶圆代工龙头企业(台湾)。”
自3月以来,因锂电池风光大热的六氟磷酸锂价格开始回归理性,较此前高点跌幅超50%,“血崩式”下跌引发投资者担忧。多氟多(002407.SZ)表示,六氟磷酸锂产品满产满销,公司原料采购和产品销售大多采取长协销售方式,能够减少短期价格波动对业绩的影响。根据Mysteel数据,截至5月27日,六氟磷酸锂市场均价在24.5万元/吨,较此前高点跌去约33万元/吨。多位业内人士认为目前市场供应充足,此前高价格导致下游需求抑制,供需矛盾有所缓解。
多氟多(39.390, 0.24, 0.61%)(002407)于本周一在全景网参加河南辖区上市公司2022年投资者网上集体接待日,在线上交流活动中,公司副总经理、董事会秘书彭超在回答投资者提问时表示,公司扩产进度及今年产能规划未发生较大调整,项目建设如期开展。目前产能为3万吨/年,年底将形成5.5万吨/年的产能。