安集科技获"IC创新奖"成果产业化奖

（全球TMT2022年7月11日讯）7月9日，由中国集成电路创新联盟（简称"大联盟"）主办的"2022集成电路产业链协同创新发展交流会暨中国集成电路创新联盟大会"以现场加网络视频连线全国的方式举行。 会上举行了"集成电路产业技术创新奖"（简称"IC创新奖"）颁奖典礼。安集科技"铜和铜阻挡层抛光液在130nm-14nm逻辑制程的产业化"获得"IC创新奖-成果产业化奖"。

安集科技拥有一系列具有自主知识产权的核心技术，核心技术权属清晰，技术水平国际先进或国内领先，成熟并广泛应用于公司产品的批量生产中。核心技术的应用主要体现在产品配方和生产工艺流程两个方面。包括金属表面氧化（催化）技术、金属表面腐蚀抑制技术、抛光速率调节技术、化学机械抛光晶圆表面形貌控制技术、光阻清洗中金属防腐蚀技术、化学机械抛光后表面清洗技术、光刻胶残留物去除技术、选择性刻蚀技术、电子级添加剂纯化技术、磨料制备技术等。