什么是MEMS？中国半导体行业协会MEMS分会不容错过

全球正经历第三次产业化浪潮，5G、物联网的发展极大地带动了MEMS产品的需求，MEMS市场规模正在实现突破性增长。而MEMS因其器件种类繁多、制造工艺不一等特点，制造一直是主要的行业痛点。 中国半导体行业协会MEMS分会 作为中国唯一的MEMS行业权威组织，为加速突破我国MEMS制造领域发展瓶颈，推动我国MEMS产业人才集聚、技术创新、成果转化。

微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System)，也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。微机电系统是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术，广泛应用于高新技术产业，是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。MEMS侧重于超精密机械加工，涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的各分支。

MEMS特点：微型化：MEMS器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短;集成化：可以把不同功能、不同敏感方向和致动方向的多个传感器或执行器集成于一体，形成微传感器阵列或微执行器阵列，甚至可以把多种器件集成在一起以形成更为复杂的微系统。微传感器、微执行器和IC集成在一起可以制造出高可靠性和高稳定性的智能化MEMS;多学科交叉：MEMS的制造涉及电子、机械、材料、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科，同时MEMS也为上述学科的进一步研究和发展提供了有力的工具。随着MEMS价值得到证明，越来越多的消费类电子产品制造商采用这项技术。蜂窝式器件的制造商也已经象游戏业一样意识到了它的重要性，特别是开发无线产品的厂商。随着手持式市场继续获得爆炸性增长，低成本将成为其成功的推动因素，而该增长可以通过MEMS技术的利用来获得。

MEMS，又叫微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems)，是建立在微米/纳米技术基础上，对材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件电控系统集成为一个整体单元的微型系统，其基本特点是微型化、智能化、多功能、高集成度和适合大批量工业化生产。根据Yole 研究预测，全球MEMS器件市场规模将从2020年的121亿美元增长至2026年的约182亿美元，复合增长率为7.2%。预计到2026年，10亿美元以上的MEMS细分领域包括射频类MEMS器件、MEMS惯性器件、MEMS压力传感器、MEMS声学传感器等。

客观而言，MEMS是一种微制造技术，是微电路和微机械按功能要求在芯片上的一种集成。MEMS器件基于光刻、刻蚀、封装等传统半导体技术，融入超精密机械加工，结合物理学、化学、光学、生物学等学科知识和技术，使得微小的MEMS器件也可以具备精确而完整的机械、电子等特性结构。

MEMS微振镜作为汽车激光雷达、HUD、微投影仪、AR眼镜的核心部件之一，随着应用市场的不断发展，为MEMS微振镜带来了庞大的市场机遇。

在激光雷达方面，随着智能驾驶技术日益成熟，消费者对智能汽车的需求愈发强烈。激光雷达作为智能汽车的核心部件，主要负责探测和识别物体，及时提供物体定位和构建信息，为智能汽车提供视野。在此背景下，市场对激光雷达的需求越来越高。根据麦姆斯咨询测算数据显示，2019年中国激光雷达市场规模约为5.1亿美元，预计到2025年将上涨至47.6亿美元。