大咖谈芯 | 突破海外光刻胶技术封锁！揭秘博康十七年求索路

艾新博盛投资管理合伙人  曹幻实 （右）

博康集团董事长  傅志伟（左）

本期话题：

• 谈优势：“国内真正实现光刻胶全产品链的现代化工厂，只有我们徐州博康一家”

• 谈经验：“在光刻胶的开发过程中我们建立自己的底层数据库，无论是单体、光酸、树脂还是配方”

• 谈展望：“成为中国高端科技中精细化工领域的研发型公司，这是我们的梦想”

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谈优势：“国内真正实现光刻胶全产品链

的现代化工厂，只有我们徐州博康一家”

幻实（主播）：欢迎大家关注芯片揭秘，我是主播幻实。今天我非常荣幸地邀请到了博康集团的董事长傅志伟先生，现在傅总就坐在我旁边，先请您给大家打个招呼！

傅志伟（嘉宾）：大家好，我是徐州博康的傅志伟。

幻实（主播）：博康真的很低调，今天我看了你们的产品手册才发现你们不简单，从光刻单体的相关晶体到后续的光刻胶都在做，同时还有很多产品线，最关键的是和很多大厂合作过，所以我特别期待今天您给我们多分享一些观点。

傅志伟（嘉宾）：我们从事这一行也有十七年了，以往对外宣传确实比较少。徐州博康一开始是做光刻胶前端的原料，也就是单体，还有部分树脂、光酸等。当时中国还没有成熟的光刻胶公司，所以我们做的东西只有一个渠道——出口卖给海外企业，对方把我们的产品当作原材料做成光刻胶后再卖给国内的厂。

在这个过程中我们从技术上深入钻研，在光刻胶原料这个领域做了完整的产业布局，概括来说就是“两个全”。

首先是品类做得全，我们基本上完全覆盖了全世界80%以上用到的光刻胶单体，尤其是半导体领域所需的单体材料；其次是市占率全，徐州博康并不仅仅针对某一个固定客户，全世界所有做光刻胶的主流公司我们都打进去，成为了它们的供应商。得益于多年以来的布局，目前我们取得了一定的成果，徐州博康对单体的相关开发在国外也还是有影响力的。

但是，我们往更高端的材料介入时，中国企业很难进一步参与了。主要原因就是需要用到高端光刻胶的设备，例如EUV光刻机等。在整体产业布局或者说世界的产业格局上，本土企业很难介入。

我们认为徐州博康既然已经掌握了大量的单体技术，那继续往下走是有基础的，因此十年前我们也开始决定做光刻胶。那时候整个产业环境并不是特别好，尤其当时国内的晶圆工厂才初具规模，都大量引进进口的光刻胶，使用国产光刻胶的可能性几乎没有。

幻实（主播）：你们凭什么判断一定要做，不觉得这条路特别艰辛吗？

傅志伟（嘉宾）：有一些特殊的机缘。我们发现国内早晚是要做光刻胶的，而且当时我们的单体研发做得不错，顺延往下走就能做出光刻胶，再者它也能反过来进一步辅助单体或树脂、光酸等等的开发，这是一个相辅相成的关系。当时我们还不能提前预判后来的国际发展形势，只是觉得是个机会。另外，我国半导体被“卡脖子”也不是这两年才有的，行业伊始就对中国有封锁禁运，包括瓦森纳协定等等，对我国有多方面的限制。

涉足光刻胶后，我们最早是做电子束光刻胶。我还记得2013-2014年时已经很明确地规定有些品类是禁售的，但中国依然需要，于是我们就做了相关的开发，成功开发了比较完整的电子束光刻胶这一系列产品。

博康集团的电子束光刻胶系列产品

（资料来源：徐州博康供图）

到了2014-2015年我们又发现，每当与国外的客户谈中国本土化生产光刻胶的可能性时，无论美国的公司还是日本的公司都说得很明确，193nm波长的ArF光刻胶与中国人合作、在中国建厂、和中国合资做公司是不现实的。不过他们可以把i线、g线这种低端的乃至KrF中的部分，也就是非高端制程的产品拿到中国与我们合作生产。当时我们就觉得不合适，因为如果中国没有先进制程的高端光刻胶，未来就会承担很大的风险。当时也有一些公司包括我们的客户，他们有一定的前瞻性，希望我们来做一些相关的研发验证，于是我们就开始做了光刻胶的相关研发。

幻实（主播）：我想问一个很现实的问题，客户只是缺点儿材料，但我们研发的投入可能会远远大于他们买材料的金额，那么就会涉及到一个巨大投入的回报周期问题，您当时是怎么解决收支平衡的？因为很多人会觉得这是国家该干的事儿，不是一家公司能做到的，博康凭什么敢干？

傅志伟（嘉宾）：我们量入为出。做光刻胶单体说实话利润还是比较可观的，再加上我们和客户有一些合作，也与国内的部分科研院所有交流沟通，实际上主要的研发费用更多是用在不停地测试验证上，这方面投入是整个光刻胶研发费用里最高的。

非常幸运，我们和中科院微电子所、中科院（上海）微系统所在内的一些相关机构有比较紧密的合作关系，能够获得低成本验证的机会，我们也非常珍惜这样的机会。从2014、2015年起陆续推出了一些光刻胶投入到小众的市场上，而不是闭起眼睛买大量高端的光刻机去验证，这是因为当年对未来市场的判断还具有不确定性，不敢以现在这种速度去做研发。

幻实（主播）：你们选择了一种联合开发的方法。

傅志伟（嘉宾）：是的，在光刻胶这方面，别人不做的东西我们来做，成本会比较低，投入的研发费也有人愿意帮我们分担。那么哪些是别人不做而我们做的呢？主要有以下四类：

第一类是被封锁禁售的。国内研发机构、相关企业等想买但买不来的东西，例如电子束光刻胶。我们的客户、合作伙伴肯定有机台，我们就一边帮助他开发，一边做验证，这样的共同开发就很快速。

第二类是拓展新的产品线。部分客户也想做新的工艺，想用一些不仅中国没有、全球也没有的特别实用的光刻胶。我们就去帮他们做一些这方面的研发，尝试着去做这种光刻胶。

第三类是服务小厂和小公司。例如新出现的功率器件这种小产线，他们如果去买光刻胶首先要负担很高的成本，其次光刻胶某种意义上并不单纯卖产品，更多时候是卖服务。比方说我们是做光刻胶的，会在工艺线上跟客户共同调整胶的配方或各种指标，从而响应客户的工艺参数，甚至有时候会需要让客户调整他们的工艺来匹配我们的胶。每款胶导入进设备和产线里是有互动的过程的，这就需要有专业的技术人员在现场。而小公司或者小产线想请国外的大胶厂过来专门匹配自己相关的光刻胶是很难的，量太小了。所以我们来做，一方面给他们服务，另一方面也能使用对方的机台来测试胶，我们的KrF光刻胶就是这样开始做起来的。

第四类是与受停产、淘汰影响而买不到产品的工厂合作。有一些工艺国外大部分工厂已经停了或者不想做了，但国内还有部分工厂在做，他们可能会接到国外胶厂的通知说这款胶我们会停产，因为这些胶厂的大客户没了，也不可能针对国内工厂再开产线。这个时候我们就去对接国内工厂，帮助他们做国产替代。

相关研发产品

（资料来源：徐州博康供图）

通过以上这四种方式，我们逐渐积累起不少客户。虽然其中也有些客户发展的不太顺利，但大部分已经迎来了“半导体的春天”。不少工厂开始不断扩大规模，随之而来的就是对光刻胶的需求量也在攀升。

这个过程表面看上去是我们帮他们，实际上双方是相辅相成，互帮互助，合作中能开发很多光刻胶品类。此外，通过这些客户，我们的量产经验被训练出来，后面再去面对国内大厂的时候，就会更有信心。因为我们的品类覆盖是最全的，为客户做定制化服务的能力也通过小厂得到了多年锻炼，从而针对大厂推出品类时也能快速响应。光刻胶里最重要的是产品质量的稳定性，我们有足够的量产能力，对连续生产的稳定性也相当有经验。目前来说，国内真正能规模化量产光刻胶的现代化工厂，包括从单体一直到光刻胶产品的全产业链工厂，只有我们徐州博康一家。

幻实（主播）：这是让我今天非常激动的一个地方，你们有这么长的一个时间积累，而且真的做到了本土化还成功了，这个经验非常难得。您的分享对行业内很多做相关产业链的人应该都会有借鉴和帮助。

专访现场，傅总向幻实介绍博康的技术优势

（图左为博康集团董事长傅志伟先生，图右为幻实）

谈经验：“在光刻胶的开发过程中我们建立自己的底层数据库，

无论是单体、光酸、树脂还是配方”

幻实（主播）：请教一下傅总，现在光刻胶领域国内的水平和阶段与国际最先进的公司相比差距还大吗？或者说在哪些方向上还有差距？

傅志伟（嘉宾）：总的来看光刻胶在技术层面我认为没有什么特别的差异性，真正的差异在于用户端、应用端。最大的难处是如何跟客户有一个好的匹配，如何去服务好这种响应。而真正的配方调整属于化学范畴，本身就是一个经验学科，它需要的是应用获得的经验，然后才能去做更多新的东西。

对我们来说，这十几年的积累让我们在单体这个领域已经在国际上能够占据一席之地。反过来通过单体的经验去往光刻胶这块再推进，可能恰恰会是我们最大的长处，是我们比较擅长的东西。

光刻胶有点像制药，药物筛选是在很多的化合物里筛选一两个活性物质，光刻胶也是一样。我们先去想象它的结构、配方，再从大量的化合物里面去选真正符合我们要求的单体、光酸等。化合物的结构太多了，如果从胶反过来推测单体都是什么再找出它们，无异于大海捞针，是非常难的。我们不同，所有用单体的思路我们都有，也基本上都在手里面，无非是进一步做排列组合，这就是可以快速响应客户需求的原因。

我们在面对国外的一些光刻胶公司包括树脂厂时发现，专业的光刻胶公司基本都是化学公司，不仅仅做光刻胶，也会做更为前端的研发。这一点是在与他们接触下来后形成的共同探讨。现在世界上排名数一数二的光刻胶公司和我们谈单体开发的合作时，是能指导我们的。

幻实（主播）：对，因为它下面有太多的品类。

傅志伟（嘉宾）：是的，既然能指导我们如何做单体，也就意味着他们对单体的了解、合成有着非常深的研究和长期的经验，只是研究出来以后委托外面去做生产。

幻实（主播）：这真的和做药很像了。

傅志伟（嘉宾）：药物研究可以做药理、毒理、病理各方面的反应，不代表一定要去生产化合物。

幻实（主播）：可能连小批量都不一定自己做。这里也和您请教一个技术前沿的趋势，现在可以用AI辅助的方法去做药的筛选，那您现在规划的光刻胶方向会不会也用AI的方式去做辅助筛选以减少实验的次数呢？另外，合成生物学现在很火爆，不知道会不会对今后光刻胶的技术路线上有一些新的思路的变化？

傅志伟（嘉宾）：不瞒您说，我们在光刻胶的开发过程中也在建立自己的底层技术数据库，无论是单体的、光酸的、树脂的，还是光刻胶的配方。AI方面最基础的恰恰是你得有一个大量的数据基础，至于未来会不会形成内容，我觉得目前国内的光刻胶不管是从合成的技术还是后续的配方，离AI还是有一定距离的，还是要先把基础做好。

从单体到光刻胶的全产业链路径

（资料来源：徐州博康供图）

我们确实有一款光刻胶的材料是绿色生物基的。其实光刻胶不仅仅应用在半导体中，我们还做了其余的开发，而那款本身就有环保的要求，所以就用了生物基这样的树脂。

幻实（主播）：非常环保，也很符合现在双碳的战略。这一块国外是不是会走得比较前沿？

傅志伟（嘉宾）：这就要看光刻胶的应用领域了，半导体行业普遍还是用合成方式的更多。

幻实（主播）：我们看到了IMEC的一些最新方向，他们未来的芯片有可能都是在实验室里通过细胞培养出来的，甚至不需要用光刻，非常前沿了。

傅志伟（嘉宾）：有可能，但我们不认为光刻只针对半导体，我们做光刻胶实际上只是半导体中的一种微加工工艺。今后在工业发展的过程中还会有很多地方都要用到微加工工艺，包括光刻胶的开发。我知道有一个生物微流道，就是用光刻工艺完成内部加工的，里面也会用到光刻胶。

光刻胶分为正胶和负胶，正胶是要刻掉的，负胶是用来固化的。我们在跟日本的客户交流时也发现，未来他们可能希望用3D打印的方式来做器件、做芯片。这是一种增材打印，里面用的材料就是光刻胶。也就是说光刻胶不再是生产过程中要被去掉的制程产品了，未来可能会变成一种基材。在有些领域，例如我们正在开发的导电胶就是这种类型的基材。在一层导电胶上再放一层绝缘的光刻胶，通过蚀刻的方法让它们交错起来，形成具体的功能性结构并保存在最后的成品器材或芯片里面。

谈展望：“成为中国高端科技中精细化工领域

的研发型公司，这是我们的梦想”

幻实（主播）：您是打算未来五到十年继续在光刻胶相关的行业发展还是会选一些其他相关多元化的方向？能给我们展望一下吗？

傅志伟（嘉宾）：首先，我们已经在光刻胶这个行业里扎根了这么多年，所形成的的基础对于目前国内的光学材料、电子材料方面是有一定的推广性的，可以把光刻胶的部分技术应用在其余的材料和领域里面。

所以我们的想法是聚焦在光刻胶这一块，把技术进一步做深做强。同时会根据技术去拓展，涉及到其余的应用材料里。我们希望根据自己擅长的方向去走，不会因为公司规模大了或者其他原因盲目地做投入运营。我们依然将按照公司自身的技术路线去发展和做一些不同领域的布局。

幻实（主播）：以技术来驱动市场的开拓。

傅志伟（嘉宾）：对。技术走到哪儿我们就去面对哪一块的市场，而不是因为有市场需求反过来立刻去开发一个东西，因为这样做可能接触到我们根本就没碰到过、不擅长的领域。

幻实（主播）：你们有没有对标的公司？比如说全球优秀的、作为您做公司时的一个对标？

傅志伟（嘉宾）：刚刚也说了我们是做光刻胶，光刻胶某种意义上来说就是化学，所以我们就是个化学公司。而化学里面也分基础化工、大化工，还有精细化工等等。中国目前来讲还没有一个规模特别大、研发能力及各方面特别强的综合性精细化工公司。所以我们的理想是看看有没有可能未来去对标杜邦、陶氏这种永远在不停地做前瞻性研发的精细化工公司。这对我们来说是蛮大的诱惑，我们希望能够努力成为中国高端科技中精细化工领域的研发型公司，这是我们的梦想。

2021年完成建设并已正式投产的邳州工厂航拍

（资料来源：徐州博康供图）

幻实（主播）：我觉得中国确实也需要这种公司，像默克这样的公司真的是掌握了太多前沿的方向，而且它们一直都是站在产业链的顶端去俯瞰下面，我觉得这个感觉是很好的。

傅志伟（嘉宾）：我们和杜邦、陶氏当年一起沟通的时候，他们说的很明确：只要利润达到30%以下就会把对应的产品停掉。为什么呢？他们永远都只做成长期的产品，或者亲自开发和培育整个市场中的材料和相关产品。但到了市场白热化竞争阶段时，利润一旦低于他们的标准就会立马被叫停，甚至把这类产品整体打包卖掉。当时还准备卖给我们一些。很多新材料都出自他们，像当年的的确良、涤纶等等，都是这些化学公司开发的。

幻实（主播）：说明人家是非常有实力、底气和才干的，这也值得我们去学习借鉴。最后借助我们芯片揭秘这个平台，您有没有想对外呼吁或者号召的？

傅志伟（嘉宾）：半导体行业是需要耐心的一个行业，我们希望客户、市场和资本包括各方面能给我们这个行业更多的耐心。有了更多的耐心我相信我们这群做技术的人一定会给大家一个比较满意的答卷。

幻实（主播）：谢谢傅总今天和我们分享了这么多，也期待博康的光刻胶大业及化学板块的伟大宏图未来能够慢慢去展现。

傅志伟（嘉宾）：我是徐州博康的傅志伟，我在芯片揭秘等着你。

随着晶圆厂掀起扩产潮，作为制程耗材的光刻胶市场空间也在进一步释放。根据SEMI的数据，全球半导体光刻胶市场规模2025年将超过30亿美元。虽然光刻胶在半导体材料中的占比不到10%，却往往有“四两拨千斤”的作用，直接影响芯片的良率，其中的单体更是曝光显影的原始载体，直接决定光刻胶的性能。很长一段时间里，这类高度精细化控制的工艺大部分掌握在美国、日本等海外厂商手里，国内企业依靠进口来满足下游环节的生产需求。可一旦对方禁售或限运就会暴露出问题。晶圆扩产潮为行业打开了自主可控的机遇和窗口，未来还需要国产厂商不断攻克材料和技术难题。我们相信，在高端光刻胶领域国内企业必将走出一条属于自己的崭新道路。

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