大咖谈芯 | 成功供货台积电！泓浒半导体谈晶圆传输赛道的国产替代趋势

谈选择：工程师创业，

聚焦国产化半导体设备赛道

幻实（主播）：欢迎大家关注芯片揭秘，今天我和老朋友、来自泓浒半导体的林坚总裁共同和大家做交流。先请林总给大家打个招呼，介绍一下自己。

林坚（嘉宾）：大家好，我是来自泓浒半导体的林坚。很高兴能够和（艾新德鲁夫）曹院长做客芯片揭秘，我会把我的一些创业经验和这几年我们在半导体方面发展的故事分享给大家，谢谢！

幻实（主播）：林总很谦虚，我知道您最开始是在中芯国际工作，后来出来创业，在半导体这一行摸爬滚打很多年。为什么决定成立泓浒半导体这样的公司？你们聚焦在什么领域？

林坚（嘉宾）：泓浒是一家致力于国产化半导体传输设备及核心零部件研发、制造及半导体耗材的企业。原来我在中芯国际工作时，设备受到了国外很多限制，有一些比较强势的供应商不签合同，不仅在业务上施加不少压力，而且可能连最基本的技术探讨都不愿意。那时我们非常急，因为一条24小时运作的产线，一个重要lot（节点）被挡住，压力会非常大，设备修不起来，那这个机台我就没顾好，进而绩效就不好。所以我就在想如果那时能有一些国产的供应商或者国产工程师支持我解决问题，对我来说会是非常大的帮助。

幻实（主播）：这里我有一个疑问，像中芯国际这种国内头部的晶圆代工厂，作为甲方，为什么乙方还敢用如此傲慢的态度来对它？这一点圈外人几乎很难相信，您能否展开说一下他们为什么会如此强势？

林坚（嘉宾）：中芯国际在国内是很厉害，但KLA/KT （专业美资半导体（芯片）设备供货商，全称KLA-Tencor )这种世界500强的大公司，中芯国际在它们的营销策略里面也只能被作为常规的客户去对待。一旦中芯国际的售后收费模式有问题时，他们就会锁住服务。

而KT这种公司本身就是靠服务来营收的，所以它会把技术卡得很死。这是理所当然的，公司都会把核心的技术留在自己手上，没有什么可以质疑的。另外，他们要面对的客户很多，也许从私交关系来说想给我们做，但从公司的政策来讲，没钱就没法调动总部的资源，没法派工程师过去，这都是现实的问题，大公司的流程就是这样。只能说我们技不如人，还没有培养好人才掌握这些技术。

工程师维护的都是主机台的腔体，定期做保养。传输在半导体厂里实际上是非常小的模块，只不过宕机是个大麻烦，好在基本上五、六年都不会down一次。

幻实（主播）：也就是说传输设备一旦稳定下来就能用很长时间？

林坚（嘉宾）：对，基本上五、六年不会宕机，但出了问题就很麻烦。因为我们以前不知道Robot（机器人）是怎么传的，一旦出了问题，就更不知道怎么去解决了。

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工程师工作实景

（泓浒半导体供图）

幻实（主播）：大家都没这个经验。

林坚（嘉宾）：即使我们现在教会了工程师，但五、六年才会用到一次，工程师那时也生疏了。因此我从中芯国际出来后在这个细分赛道上潜心钻研，每天都去研究、去拆它，到后来碰到什么问题，只要线下跟我一讲，我大概就能知道病根，可以快速解决，不绕圈子，不走弯路，基本上三个小时就能搞定。换做没有经验的，可能要不停更换零件才能定位问题，那时就已经花了三五天的时间。对客户来说是产能的损失，效率十分低下。

我为什么出来创业？其实是希望能够借助我在半导体行业里积累的经验和沉淀，再调拨一些资源，帮助fab厂的工程师来解决平时基本遇不到、但一遇到就很难的问题，让自己能够聚焦在某一个赛道把它做得很精，这是我当时选择创业最基本的初心。

幻实（主播）：让客户所有的设备都能良性运转，初心特别好，但我也觉得肯定不容易。发展到现在感觉这条路上有没有非常坎坷的地方？

林坚（嘉宾）：其实还好。以前在中芯国际这种半导体厂里面，大家都是24小时在线没日没夜的做，随叫随到。那时我们住在中芯花园，基本上十几分钟就能到公司。因为一条产线太贵了，哪怕停半小时，带来的损失都是用几十万、几百万来计算的，所以不能有时间上的浪费。这就磨练了我们工程师吃苦耐劳的品质。

创业这件事对我来讲本身是有挑战的，很多事情都要自己去思考、去解决。这个过程会碰到资金的问题、初始人员招募的问题，所以早期我就自己拿着螺丝刀到fab厂里面去修机器，半夜十二点进去，有时干到凌晨三、四点都是常态。

现在我们已经有了一个非常好的团队可以胜任这些事情，能快速解决问题。资金方面最困难的时候，我和我们董事长把房子抵押了，我把苏州的房子抵押贷款了200万，他把昆山的别墅抵押贷款了300万，再加上200万的信用额度贷款，凑够了700万。

幻实（主播）：当时慌不慌？家里支持吗？

林坚（嘉宾）：慌，但家里是支持的，实际上创业这件事就是要靠家里支持，否则不会走远。原本维修其实不需要投入很大的资金，但是一旦做设备了，就要自己研发，只要研发就要做样机，还得和客户去测试demo产品，这也意味着早期可能是拿不到钱的。可很多核心部件都得现款现货，资金的用量就会比较大，所以早期真的很辛苦。好在后面我们自己慢慢地做出来，受到一些资本的青睐，给到了我们资金上的支持，让我们在这个赛道上快速地占领市场。

谈市场：撬动垄断，

在百亿级设备市场中找寻定位

幻实（主播）：现在传送的市场大概有多大？常规的传送以及咱们现在定位的这种真空传送，它的市场空间容量怎么样？

林坚（嘉宾）：传送是一个通用性的东西，我们也做过测算，这是一个百亿级的市场。目前12吋的所有主设备都需要传送的模块，我们称之为EFEM模块（主设备前置模块）。12吋的盒子大，不会像原先8吋的能用人工放上去。12吋的技术节点也高，微环境要控制的非常好，都是在FOUP(晶圆传送盒）里面去做承载的，所以必须要有这样一个传送的模块。目前这个模块基本上还集中在日本和美国这些大的设备商手中。

此外，传送还应用在晶圆的传片机中。本身fab里12吋在扩建产能，现在大家都在各自建厂，美国的技术封锁以后，每个国家都意识到了芯片这个行业必须要回归到自己来做。所以这一块扩产的脚步非常快，特别是中国大陆的建厂，需求就应运而生了。我们测算了一下这部分的市场，大概在四五百亿的规模。以目前来看，国产设备可能只占10%-15%的份额，国家要求在2035年要实现70%的国产化，所以这里的空间实际上是巨大的。我们也庆幸所在的赛道未来有这么大的市场来展现给我们。原来的市场都在国外，我们是没有机会的，现在这一波让我们有了机会，那就要尽快地抢占这个市场。

幻实（主播）：现在泓浒半导体有几款在售的自研产品？

林坚（嘉宾）：2019年我们在合肥新汇成推出了第一款Sorter（晶圆传片机）。很巧，前不久在新汇成的过会答谢晚宴上，我说新汇成对整个国产设备的扶持力度非常大，愿意尝试使用国产设备，所以给了我们这个机会。从2019年到现在已经重复购买了7台，持续的购买是对我们极大的认可。像大气传送的Sorter还有EFEM目前已经是一个成熟的产品了。

服务方面我们也很成熟，后续泓浒会出品更多的机型，覆盖面会更广。今年我们重点做了VTM（主设备真空传送模块）的开发，从传送赛道来讲，真空传送也是一个非常大的市场。所有的设备都要大气传送，但是例如蚀刻、Thinfilm（薄膜工艺）等都是真空传送，是在真空的腔体里来做制程的。所以还要额外再做一个真空的传送模块，目前这个模块都还是美国的BROOKS公司在垄断。

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VTM与SMIF 设备产品图

（图源：泓浒半导体提供）

幻实（主播）：技术含量应该很高。

林坚（嘉宾）：是的，它的技术含量是比较高的，要在真空环境中让晶圆在没有外力的情况下自摩擦，操作时手臂不能抖，还要考虑控制好微环境。

幻实（主播）：微环境是wafer（晶圆）在里面飘着的感觉吗？

林坚（嘉宾）：对，不能有其他外力。

幻实（主播）：也不能污染？

林坚（嘉宾）：是的，第一是要绝对的真空，不能有别的东西进去，因为所谓的真空压力没有它低；第二，本来就是要真空的，再通一路气肯定是不允许的，因此全靠自摩擦。但凡Robot（机器人）有一点抖动，基本上就会发生划片，一划片传进去就不准了，wafer（晶圆）可能就碎掉了，这会非常严重。所以在真空传送里面要挑战的东西比较多。

还有一些问题是真空和大气的硬件互锁没做好，不小心误点就能把门打开，这样的话大气会灌进去把晶圆震碎。这些都是非常难的，需要很有经验的人预先知道会发生这种事故，以便知道在哪些地方要做特别多的硬件互锁。这些是经验的积累，而不是功能的实现。功能实现不难，开个门就行，大家都知道。但要在未知错误发生前先预想到造成机台和晶圆损伤的可能性，没有一定经验的人在这一块上是有欠缺的，不是所有人都能快速去做成。很多坑国外要踩10年，你必然也要踩10年；但如果你做过，知道人家踩过哪些坑，也许你就能规避，可能只踩一年的坑就行了。

幻实（主播）：所以理解用户需求也是一个积累的过程。

林坚（嘉宾）：泓浒的团队就是从中芯国际出来的，来自于客户，我们以前就是甲方，所以很清楚一个设备要做成什么样子。例如它的安全性和尺寸大小，特别是速度要快，要稳定，要免保养，拆起来要方便和简单，互锁要做好。以前出了bug我让设备商和供应商去解，现在我们自己就知道一台设备应该在哪些地方着重去做，只有这样做出来的设备才是甲方真正需要的设备。

如果只是模仿一台设备，看人家是怎么传的，仅仅实现传送功能，很多核心根本弄不清楚，这个时候必然会有一些问题产生。泓浒的传输是比较有经验的、互锁做得好的。其实半导体这一行有时候并没有太多的试错机会，除非某一个赛道没人做，逼着让你来做，你才会不停地研究和尝试。但凡有人做过的、有经验的，其他人再想切入这个赛道，一旦发生一个案子，对方就会觉得你们考虑的东西还不够，就会再去找考虑得更周全的其他企业来做。

进入这一行并不容易，以前我们这个行业是非常封闭的，一直追求的是所谓Install base（这里指已占有的市场），非常保守。假设今天你想把面前这个瓶子移到另一个位置，觉得似乎很简单，应该没问题，但马上就会被老板质疑：什么是应该？你有没有摆过去试试看？风道会不会变？风压会不会调整？微粒会不会有一些位移？这些东西都是很关键的。在不知道的情况下，要用DOE（Design of Experiment）的实验，用严格的数据证明到底影不影响，而不能说将材料换一换就应该没问题，因为这直接关系到良率，必须非常严谨。

现在我们公司新进员工的第一课，我就会告诉他们要用敬畏之心来面对现在从事的半导体行业，不懂就是不懂，不要装懂，也不要知其然不知其所以然，这也容易犯错。为什么呢？有时候我们是不知道会发生一些变化的，很容易忽略掉而按照原来的方法做，这可能也是真正犯错造成很大影响的一个源头了。因此我会要求新员工一定要有敬畏心来做半导体事业，容不了一点点疏忽。

幻实（主播）：对人才的要求也是蛮高的，不是说捡到篮子里的都是菜，需要你们亲自来带教，把它传承下去。

林坚（嘉宾）：对，现在半导体人才缺口很大，很希望有多年半导体工作经历的创业者和他们的平台能够慢慢去承担培训的工作。例如我们会搭起来一些传输的模块去跟客户做互动，因为一台几百万的真机器是要一直跑货的，不可能停下来10个小时让人学，那样成本太高了。但搭好的测试平台闲置着不会损失什么，派过来的工程师我们可以教，最多付我们一点教学的费用。这个费用不算贵，相比一台停下来的量产设备，假设一个小时能赚10万块，停十个小时100万就没有了，但付我们一两万，我们就能全程教学。这种培训并不在现场，否则万一撞坏了损失更大。现在一般这种互动我们跟客户都是很愿意做的。

专访现场，林总介绍人才培训方法

幻实（主播）：真的很稀缺，有这样的一个开放的心态跟客户去做，替客户去想，我觉得之前还没怎么听到过。所以关注我们节目的朋友如果你们遇到这类需要培训的任务，也不妨试试和泓浒这边做一个交流。

林坚（嘉宾）：我们一定会全身心的去做这件事情，因为我们觉得传送本身就像芯片揭秘一样——芯片这个行业确实让很多人觉得难以介入，但是揭秘多了，你就能发现也不外乎是那些东西，大家要把称之为护城河的高科技行业里的东西慢慢拨开，这样能够让更多的人真正去了解行业需求，让更多的人参与进来。

当下国家确实在这个行业中碰到了困难，需要做过的、没做过的都跨入到这一行里来做点研究，甚至有一些资本的投入来加速赛道的成熟。从这个角度来说泓浒责无旁贷，我们愿意在这一块去分享，我一直认为技术是越讨论越强大的，而越保守技术越不能很快成长。

两个高手彼此过招，你愿意把招数使出来，那么大家就都可以成长，下次就能知道怎么去避免这些错误，知道不同的解法，最终两个人都同时成长。这种成长对中国半导体来说就是整体的成长，从而慢慢追平或超越国际水平。但现在大家还都是藏着掖着，水平不够。重复投资和建设有什么意思？都在各自领域里好好去做，做透赛道，赛道起来了，在里面的公司才可以一起进步。很多技术靠防是防不住的，只能凭借自身往前发展，让人家去追随，这样才算厉害。如果一直想藏着自己的技术，早晚人家也能学会，也会被替代，因为这不是核心竞争力，只不过你比人家做的早一点而已。

谈优势：会修也会造，

深耕半导体核心零部件研发

幻实（主播）：半导体里有“头部通吃”这个说法，设备这个领域里也是“头部通吃”吗？你们是从哪一年开始准备的？现在进展怎么样？

林坚（嘉宾）：设备基本上也是“头部通吃”，比如国家现在投资的这几个赛道，一旦有人第一个做出来了，第二名、第三名再去做就有点困难，因为资源都集中在头部，你需要先把头部一家一家地冲击和攻克掉。做传输也是一样，在国家比较缺国产设备的契机之下，我们去抓住这个机会，基于原本对国外设备核心点的了解来做一些集成、维护和解决方案，为赛道赋能，同时也可以在这个过程中享受半导体快速成长的红利。

我们从2011年就出来创业，一直在半导体行业做。原来从事贸易赚点钱，后来做工程、去修东西，这条路走得还是比较踏实。目前已经连续三年营收达到三倍的增长，去年是4,800万，今年年底我们做到1.5个亿，这个成绩在任何行业都是很难的，只有在半导体里才能实现。

去年有一个很大的突破，我们在去年8月成功交付给台湾两台Sorter（晶圆传送机）产品，货已经到了台积电。能进入到台积电供应链的国产设备商是少有的，在传输赛道泓浒肯定是第一家，从这一点来讲泓浒的产品是被市场充分认可的，也有机会在后续能够做更多的突破。

幻实（主播）：算不算你实现自己的一个人生小目标了？得到了一个行业内头部客户的认可。

林坚（嘉宾）：对泓浒而言算是一个节点，对我们有非常大的鼓励，所以也很感谢团队。原来台积电的项目实际上是研发一个定制款，我们从定制开始沟通，到最后给了我们30天的时间，然后我和团队没日没夜的48小时轮轴转，最后用了28天生产出来。当时是在机场等着我们的，所以延误一分钟都不行。最终提前两天给到了台积电，他们也非常认同我们在这件事情上的配合度跟专业度。我觉得国内其实不乏这种能够做出一些好的产品、好的服务的公司，我相信泓浒只是国产设备商里面一个典型。很多公司也有这样的能力和魄力去做这件事情，我们是可以拼了命去做国产化设备的。

泓浒半导体的国产化设备

幻实（主播）：泓浒的优势集中在哪儿？下一步的规划是什么？

林坚（嘉宾）：我们的优势在于可以让半导体厂里努力造晶圆的人把他们的精力聚焦到一些重点的process（制程）腔体上，而这些细分的、平时不怎么能接触到的难题，我们来帮他解决，不再需要看别人的脸色，也不用再担心找不到探讨问题的人。

一般来说，只要在传输设备上有宕机问题找到我们，我们都可以及时地来做一些分析探讨，基本80%到90%的问题能快速锁定并解决。况且，国产厂商一定会比海外大公司的报价低很多，所以这方面对大家来说都是双赢的局面。对客户来讲，产能很快就能释放出来，此外成本又很低，相比KT或者其他大公司的售价，我们肯定要低很多，所以对我们来说这也是个非常好的事业。总体来看，我们维修这些设备的量还是很可观的，一个fab可能down的不多，但是全国甚至未来可能要走向全球的晶圆厂，这个体量就很可观了。

不仅如此，维修技术目前来看是毛利不错的一个项目，对泓浒目前做的传输细分赛道还是很有帮助的。原本我们单纯为了存活下来，学点技术，做点生意赚一点钱，现在慢慢从维修切入到设备的整个集成。例如目前我们就面向fab厂推出了Sorter（晶圆传片机），面向主设备商推出了EFEM（主设备前置模块）。未来泓浒的产品和服务会贯穿整个传输赛道里，从设备的集成到核心部件的生产、研发、销售及后续的售后，不仅是我们自己产品的售后，这个产品我们已经很稳定，还会做更多国外设备传送机器人的售后，给客户提供服务。

今年我们完成融资后，会把一些融资的钱投入到核心的零部件研发中。我们希望资本跟进来以后能支持后续在核心部件研发上面持续地往下深挖。事实上虽然Sorter我们是国产化，但核心部件Robot还是用日本的。接下来我们要做核心部件的国产化，今年下半年已经有SMIF 8吋的产品，有了自己的OCR（晶圆读码机）和Pre-aligner（中心定位校准器），Robot（机器人）都会国产化。

我们发现目前自己做Robot里面的核心部件，像减速器也好，轴承也好，不敢随便替换成国内的供应商来做。目前修的时候会碰到很多一线和二线品牌的Robot，拆完才发现里面的减速器大部分是哈默纳科（Harmonic），皮带大部分是优霓塔(UNITTA) 的，为什么没有选其他家的，可能就是因为他们家能做的最好。

从保守的角度来说，现在这些部件我还是用国外的。也就是说即使Robot国产了，核心部件还是国外的，所以下一步还是要继续向下深挖。什么时候国内的减速机可以对标哈默纳科（Harmonic），轴承可以对标日本IKO、THK公司这些国外的品牌，这个时候才真的是能够做到国产化了。

幻实（主播）：这是基础工业整体的提升，是主机厂在提升。

林坚（嘉宾）：所以我觉得这条路还是蛮漫长的。现在大家做出来的一些品牌，国产的设备里很多备件是国外的，就算能够做出备件以后，备件里的核心配件也还是国外的。其实我尝试过国内的一些轴承厂商的产品，用了半年或一年磨损就很厉害。后来去深度研究了国外的轴承，里面钢的材料他们的退火工艺就做得非常好。同样牌号的钢，可能中国牌号要比日本的下一级牌号还不如，事实上无论是质量还是耐用性各方面都没有他们下一个等级的好。现在很多时候我们在国内选材时，都要求购买比我们原来测出来的钢更高一级的，这样才能用。工业里面其实最终还是锁在材料这一环上。

日本在这方面做了很多年的研究，所以他们对材料里很多核心技术最难解、看不到的东西，例如配方、退火工艺、在哪个温度下锻造都很清楚。这是很关键的，能保证最后出来的材料耐磨耐用。

作为我们泓浒来说，接下来在赛道里我们至少知道这些东西的点在哪里，无论是找合作伙伴还是自己用实力继续往下深究，最终的核心都是要把这些材料给破解掉。

幻实（主播）：对大家来说，中国要做国产化的东西真的是任重道远。我觉得像泓浒这样的公司越来越多之后，国产的底层材料商才会越来越有机会，否则他们永远没有市场，有你们在他们才有市场，才能活下去。

林坚（嘉宾）：泓浒的成长，就是因为fab厂给了我们机会。其实很多材料商也在这个行业一直做研究，知道半导体的诉求在哪里。我们作为真正用这些材料的，如果在这一块能提供一些对标的产品给他，告诉他们一些技术指标的要求，让他们朝着这个方向去努力，我相信以中国人的勤劳和智慧，未来虽不能太自信，但也不必太悲观。其实只要中国能真的把一些产品的性能指标提出来，方向提出来，我相信我们很快就能够见到真正国产的减速器、国产的轴承，这些都能做得很好。

幻实（主播）：期待这一天。谢谢林总跟我们分享了这么多，也欢迎您以后有更多的好消息以及产业的进展，再来我们这里做客。

林坚（嘉宾）：谢谢芯片揭秘，也希望芯片的这层神秘的面纱通过这个节目真的把它一层一层的揭开，让半导体和芯片不再神秘，我们一起努力。