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[导读]MEMS传感器即微机电系统(Microelectro Mechanical Systems),是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展,已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术,具有广阔的应用前景。

MEMS传感器即微机电系统(Microelectro Mechanical Systems),是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展,已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术,具有广阔的应用前景。截止到2010年,全世界有大约600余家单位从事MEMS的研制和生产工作,已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品,其中MEMS传感器占相当大的比例。MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比,它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时,在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。

我们为大家统计了一下国内外生产MEMS传感器厂家:

华芯半导体:华芯半导体成立于2004年,是一家专注于MEMS传感器和半导体器件研发、制造和销售的公司。其产品覆盖了汽车电子、智能手机、医疗器械、物联网等多个领域。华芯半导体也是国内最早的MEMS芯片生产商之一。

思岚科技:思岚科技成立于2007年,是一家专注于MEMS惯性传感器、环境传感器和磁性传感器的研发、制造和销售公司。其产品广泛应用于智能家居、汽车电子、工业自动化等领域。

深圳智瑞微电子:深圳智瑞微电子成立于2007年,在MEMS传感器和微纳系统领域拥有较为深厚的技术积累。其产品主要应用于智能手机、消费电子以及工业自动化等领域。

歌尔微电子:成立于2017年,是我国MEMS传感器龙头企业歌尔股份子公司,2019年歌尔股份启动分拆工作,将MEMS相关业务全部分拆到歌尔微电子,歌尔微成为歌尔体系内唯一从事MEMS微电子相关业务的主体,并继承歌尔股份在MEMS领域的市场地位。歌尔微电子(歌尔股份)常年位居“中国MEMS十强”企业名单榜首,据知名半导体市场咨询机构Yole Development 的《MEMS产业现状报告》显示,从2019年开始,歌尔微(歌尔股份)连续跻身全球10大MEMS厂商之列,也是前十名中唯一一家中国企业。在MEMS声学传感器(麦克风)领域,歌尔微电子于2020年超过楼氏电子成为行业第一,市场占有率居世界同行业之首,这是楼氏电子称霸MEMS麦克风15年来首次落败。

美泰科技是中国电子科技集团第十三研究所全资子公司,中国MEMS行业协会理事长单位,专门致力于MEMS(微电子机械系统)器件与系统的研发、生产和销售。连续多年荣获“中国半导体MEMS十强企业”,是国内最大的MEMS核心芯片、器件和系统产品供应商,中国MEMS技术领导者。

美泰科技拥有自己的MEMS传感器芯片产线,是一家IDM企业。2015年中电十三所的“6英寸SOI MEMS标准加工技术及在高性能MEMS 器件中的应用”通过科技部组织的专家验收,用于MEMS陀螺仪、加速度计、振动传感器、碰撞传感器、MEMS光开关、VOA及压力传感器等高性能MEMS器件的批量加工,美泰科技6英寸产线月产能达到1万片。

德州仪器:德州仪器是全球领先的模拟IC、数字信号处理器和嵌入式处理器制造商之一,也是MEMS芯片领域的知名企业。其产品主要涵盖了惯性传感器、环境传感器和声学传感器等。

STMicroelectronics:STMicroelectronics是全球领先的半导体生产商之一,其MEMS芯片产品主要包括了加速度传感器、陀螺仪、惯性导航系统和环境传感器等。其涉及的领域包括智能手机、电子手表、智能家居以及汽车电子等。

NXP,恩智浦提供基于微机电系统(MEMS) 的差异化加速度传感器产品组合,以满足汽车、医疗健康和工业领域日益增长的需求。我们的加速度传感器走在行业前沿,引领计量与节能、量化健康、安全与监控、可穿戴设备以及家居便捷化等新兴应用。


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