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[导读]微机电系统(MEMS)陀螺仪是一种在微米级别的尺度上集成电机和电子设备的装置,能够测量或保持方向。这是通过对旋转运动的角速度进行检测和测量实现的。

微机电系统(MEMS)陀螺仪是一种在微米级别的尺度上集成电机和电子设备的装置,能够测量或保持方向。这是通过对旋转运动的角速度进行检测和测量实现的。

MEMS陀螺仪的工作原理基于科里奥利(Coriolis)效应。这是一个物理现象,在旋转参考系中,运动物体受到一种横向的力,称为科里奥利力。在MEMS陀螺仪中,微型结构会沿着一个轴(驱动轴)振动。当设备旋转时,科里奥利力将导致垂直于原始振动轴的一个轴(感应轴)上的微小位移。这个位移可以通过电容或压阻效应检测到,并转化为电信号,最终用于计算角速度。我们来看看有哪些陀螺仪生产厂家。

芯动联科公司:XDR2067

芯动联科主要产品为 MEMS 陀螺仪和加速度计,并提供 MEMS 惯性传感器相关的技术服务。其中,陀螺仪用于感知物体运动的角速率,加速度计用于感知物体运动的线加速度,二者辅以时间维度进行运算后可得出物体相对于初始位置的偏离,进而获得物体的运动状态,包括当前位置、方向和速度。

MEMS 加速度计通过分散式多单元结构的设计,使 MEMS 敏感结构具有高灵敏度、低漂移、低温度系数、良好的重复性等特性。芯动联科的 MEMS 加速度计基于 SOI 体硅工艺制造,配以高性能 ASIC 电路,可以实现 μg 级加速度测量精度。

ST的I3G4250D3轴陀螺仪

I3G4250D是一个低功率的3轴角速率传感器,能够在零速率水平下提供前所未有的稳定性,并提供对温度和时间的灵敏度。它包括传感元件和IC接口,能够通过标准SPI数字接口向应用程序提供测量的角速率。同时,它还提供了一个与I2C兼容的接口。

该传感元件采用意法半导体公司开发的专用微加工工艺制造,用于在硅晶片上生产惯性传感器和执行器。

IC接口使用CMOS工艺制造,允许高级集成设计一个专用电路,以更好地匹配传感元件的特性。

I3G4250D具有可选择的全尺寸容量(±245/±500/±2000 dps),并且能够通过用户可选择的带宽来测量速率。

I3G4250D可采用塑料陆地网格阵列(LGA)封装,可在-40 C到+85 C的温度范围内运行。

TDK公司ICM-42605高性能低功耗 6 轴 MEMS 运动传感器

ICM-42605 是一款 6 轴 MotionTracking® 设备,在小型 2.5 × 3 × 0.91 mm(14 引脚 LGA)封装中结合了 3 轴陀螺仪、3 轴加速度计。

ICM-42605 包括片上 16 位 ADC、可编程数字滤波器、嵌入式温度传感器和可编程中断。该器件的工作电压范围为 1.71V – 3.6V。主机接口支持速度高达 12.5 MHz 的 I3C℠ 协议(SDR 模式下数据速率高达 12.5 Mbps,DDR 模式下数据速率高达 25 Mbps)、速度高达 1 MHz 的 I²C 协议和速度高达 24 MHz 的 SPI 协议。

ICM-42670-P

高性能 6 轴 Motion Tracking® IMU

ICM-42670-P 是一款 6 轴 MEMS 运动跟踪设备,结合了 3 轴陀螺仪和 3 轴加速度计。该器件面向需要超低功耗以延长电池寿命的消费类和物联网应用。该传感器在 6 轴和仅加速度计操作模式下提供业界最低的功耗。它还附带一系列嵌入式运动功能和中断,以进一步降低系统功耗。

ICM-42670-P 在小型 2.5 × 3 × 0.76 mm(14 引脚 LGA)封装中结合了 3 轴陀螺仪和 3 轴加速度计。它还具有高达 2K 字节的 FIFO,可以降低串行总线接口上的流量,并通过允许系统处理器突发读取传感器数据然后进入低功耗模式来降低功耗。

它具有支持 I3C℠、I²C 和 SPI 串行通信的可配置主机接口,以及两个具有超低功耗运动唤醒支持的可编程中断,可最大限度地降低系统功耗。其他行业领先的功能包括用于手势识别的片上 APEX 运动处理引擎、计步器、可编程数字滤波器和嵌入式温度传感器。

该产品还具有 0.76 毫米的较小 Z 高度,使其适合外形尺寸敏感的应用。空间有限的消费产品和系统可以在其应用中利用 20% 的尺寸减小。

超低功耗、小尺寸和片上运动功能使其非常适合可穿戴设备、耳戴式设备、AR 眼镜、智能家电和电视遥控器等应用。

此外,ICM-42670-P 支持此类 IMU 中最低的陀螺仪和加速度传感器噪声,并且具有针对温度、冲击(高达 20,000 g)或 SMT/弯曲引起的偏移的最高稳定性以及抗外部干扰能力。带外振动引


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