Ohmic Contacts
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为了把固态器件接入电路,金属和半导体之间就必须有contacts。这些contacts理论上应该是完美的导体,但实际上他们是有一点电阻的Ohmic contacts。跟rectifying contacts不一样,这些Ohmic contacts两个方向都可以很好的导电。
如果半导体物质掺杂足够重的话,Schottky barrier也有Ohmic conduction的特性。掺杂原子的高浓度使耗尽区薄到载流子能很容易的隧道穿越它。不像普通的齐纳二极管,Ohmic contacts能在很低的电压下支持tunneling。由于载流子能有效的靠隧道穿越绕过Schottky barrier,rectification 就不会发生。
如果Schottky barrier的接触电压能产生表面积累而不是表面耗尽的话,ohmic contact也能形成。在积累的情况下,在半导体的表面形成了一层薄的多数载流子层。在N型半导体中,这个层由过剩的电子组成。由于金属是导体,所以无法形成耗尽区。在金属的表面就形成一薄层的电荷来对抗硅中积累的载流子。由于Barrier两边都没有耗尽区,防止了contact的电压微分,且任何外加电压也会帮助载流子穿过结。因为载流子能往两个方向运动,所以这种Schottky barrier形成的是Ohmic contacts而不是整流后的一个方向。
实际中,rectifying contacts出现在轻掺杂硅,ohmic contacts出现在重掺杂硅。Ohmic 导通的真正原理不重要,因为本质上所有的Ohmic contacts的表现都一样。只有当在contact下有一薄层重掺杂硅时轻掺杂硅区才能被ohmically contacted。如果一层重掺杂硅用来和某种适当的金属系统联合,就能得到低于50Ω/μm<?xml:namespace prefix = v ns = "urn:schemas-microsoft-com:vml" />