当前位置:首页 > 显示光电 > 显示光电
[导读]透射电镜的主要性能参数及测定 2.3.1 主要性能参数 分辨率;放大倍数;加速电压 2.3.2 分辨率及其测定 1. 点分辨率 透射电镜刚能分清的两个独立颗粒的间隙或中心距离。测定方法:Pt或贵金属蒸发法。 如图所示。

透射电镜的主要性能参数及测定
2.3.1 主要性能参数
分辨率;放大倍数;加速电压
2.3.2 分辨率及其测定
1. 点分辨率
透射电镜刚能分清的两个独立颗粒的间隙或中心距离。测定方法:Pt或贵金属蒸发法。 如图所示。 将Pt或贵金属真空加热蒸发到支持膜(火棉胶、碳膜)上,可得到粒径0.5-1nm、间距0.2-1nm的粒子。高倍下拍摄粒子像,再光学放大5倍,从照片上找粒子间最小间距,除以总放大倍数,即为相应的点分辨率。
2. 晶格分辨率
当电子束射入样品后,通过样品的透射束和衍射束间存在位相差。由于透射和衍射束间的位相不同,它们间通过动力学干涉在相平面上形成能反映晶面间距大小和晶面方向的条纹像,即晶格条纹像,如下图2-9所示。晶格分辨率与点分辨率是不同的,点分辨率就是实际分辨率,晶格分辨率的晶格条纹像是因位相差引起的干涉条纹,实际是晶面间距的比例图像。
测定方法:利用外延生长方法制得的定向单晶薄膜做标样,拍摄晶格像。测定晶格分辨率常用的晶体见下表。根据仪器分辨率的高低选择晶面间距不同的样品做标样。

图2-9 晶格分辨率测定金(220)、(200)晶格像

表2-1 测定晶格分辨率常用晶体

2.3.3 放大倍数
透射电镜的放大倍数随样品平面高度、加速电压、透镜电流而变化。TEM在使用过程中,各元件的电磁参数会发生少量变化,从而影响放大倍数的精度。因此,必须定期标定。
标定方法:用衍射光栅复型为标样,在一定条件下(加速电压、透镜电流),拍摄标样的放大像,然后从底片上测量光栅条纹像间距,并与实际光栅条纹间距相比即为该条件下的放大倍数,见图2-10。例如,衍射光栅2000条/mm,条纹间距0.0005mm.
利用光栅复型上喷镀碳微粒法。碳微粒间距较光栅微粒间距小,用光栅间距标定碳粒间距,就可以扩大标定范围,适用于5000-50000倍的情况。
晶格条纹像法。利用测定晶格分辨率的样品为标样,拍摄条纹像,测量条纹像间距,再计算条纹像间距与实际晶面间距的比值,即为放大倍数。适用于高倍,如10万倍以上的情况。

图2-10 (a)5700倍 (b) 8750倍

习 题:
1. 透射电镜主要由几大系统构成?各系统之间关系如何?
2. 照明系统的作用是什么?它应满足什么要求?
3. 成像系统的主要构成及特点是什么?
4. 分别说明成像操作与衍射操作时各级透镜(像平面与物平面)之间的相对位置关系,并画出光路图。
5. 样品台的结构与功能如何?它应满足哪些要求?
6. 透射电镜中有哪些主要光阑?在什么位置?其作用如何?
7. 如何测定透射电镜的分辨率与放大倍数?电镜的哪些主要参数控制着分辨率与放大倍数?
8. 点分辨率和晶格分辨率有何不同?同一电镜的这两种分辨率哪个高?为什么?

本站声明: 本文章由作者或相关机构授权发布,目的在于传递更多信息,并不代表本站赞同其观点,本站亦不保证或承诺内容真实性等。需要转载请联系该专栏作者,如若文章内容侵犯您的权益,请及时联系本站删除。
换一批
延伸阅读

9月2日消息,不造车的华为或将催生出更大的独角兽公司,随着阿维塔和赛力斯的入局,华为引望愈发显得引人瞩目。

关键字: 阿维塔 塞力斯 华为

加利福尼亚州圣克拉拉县2024年8月30日 /美通社/ -- 数字化转型技术解决方案公司Trianz今天宣布,该公司与Amazon Web Services (AWS)签订了...

关键字: AWS AN BSP 数字化

伦敦2024年8月29日 /美通社/ -- 英国汽车技术公司SODA.Auto推出其旗舰产品SODA V,这是全球首款涵盖汽车工程师从创意到认证的所有需求的工具,可用于创建软件定义汽车。 SODA V工具的开发耗时1.5...

关键字: 汽车 人工智能 智能驱动 BSP

北京2024年8月28日 /美通社/ -- 越来越多用户希望企业业务能7×24不间断运行,同时企业却面临越来越多业务中断的风险,如企业系统复杂性的增加,频繁的功能更新和发布等。如何确保业务连续性,提升韧性,成...

关键字: 亚马逊 解密 控制平面 BSP

8月30日消息,据媒体报道,腾讯和网易近期正在缩减他们对日本游戏市场的投资。

关键字: 腾讯 编码器 CPU

8月28日消息,今天上午,2024中国国际大数据产业博览会开幕式在贵阳举行,华为董事、质量流程IT总裁陶景文发表了演讲。

关键字: 华为 12nm EDA 半导体

8月28日消息,在2024中国国际大数据产业博览会上,华为常务董事、华为云CEO张平安发表演讲称,数字世界的话语权最终是由生态的繁荣决定的。

关键字: 华为 12nm 手机 卫星通信

要点: 有效应对环境变化,经营业绩稳中有升 落实提质增效举措,毛利润率延续升势 战略布局成效显著,战新业务引领增长 以科技创新为引领,提升企业核心竞争力 坚持高质量发展策略,塑强核心竞争优势...

关键字: 通信 BSP 电信运营商 数字经济

北京2024年8月27日 /美通社/ -- 8月21日,由中央广播电视总台与中国电影电视技术学会联合牵头组建的NVI技术创新联盟在BIRTV2024超高清全产业链发展研讨会上宣布正式成立。 活动现场 NVI技术创新联...

关键字: VI 传输协议 音频 BSP

北京2024年8月27日 /美通社/ -- 在8月23日举办的2024年长三角生态绿色一体化发展示范区联合招商会上,软通动力信息技术(集团)股份有限公司(以下简称"软通动力")与长三角投资(上海)有限...

关键字: BSP 信息技术
关闭
关闭