如何校准福禄克55XX系列校准器

为了校准5500A、5502A、5520A、5522A等型号多产品校准器的交直流电压、交直流电流和电阻五项主要功能，使用的标准设备必须满足校准不确定度比率的要求，即被校仪器的不确定度与校准标准的不确定度之比率TUR至少大于 4:1 或者 3:1。

本文对这五项校准的测量不确定度的要求进行了讨论分析了使用不同标准设备时的校准不确定度和不确定度比率。分析表明，要完成这五项功能的校准，需要8508A高精度数字多用表，A40B精密分流器，5790A交流电压测量标准或者其他类似的标准仪器;在直流电压和电阻的几个校准调整点还需要应用校准边界保证(Guardbanding)技术或者使用其他的测量仪器。

一、 引言

在直流低频电学校准实验室，多产品校准器发挥着重要作用，其中，美国福禄克公司的55XX系列多产品校准器是应用最广泛的校准器。计量人员用它们检定各类仪表，例如数字多用表，功率表，欧姆表，开关板表，记录仪，钳形表，示波器，热工仪表等等。使用一台这种校准器就可以承担一个小型的校准实验室的大部分校准负载。为了保证对量值的溯源性，保证校准质量，这些校准器本身也需要定期校准溯源。 这些校准器功能多，量程宽，驱动能力强，校准溯源要求也比较高。如何可靠地校准这些校准器，保证可靠地量值溯源性，是一项技术性很强的工作。目前国内各有些校准实验室在校准这些校准器的工作中，还存在一些问题。有时候，其校准不确定度并不能满足技术要求。本文对这些问题做了分析，并提出了解决方法。

二、 存在的问题

校准仪器时，有一个最基本的要求，就是要求被校仪器的不确定度远大于校准标准的不确定度。它们之间的比率称为不确定度比率TUR。一般要求TUR至少大于 4:1 或者 3:1。达到要求，可以开展校准或检定;达不到要求，只能进行仪器间的比对测量。

ISO 17025 明确要求校准结果要报告测量(校准)不确定度，校准实验室或测试实验室做所有校准测量时，应该拥有并使用固定的程序来评估测量不确定度。中国国家实验室认可委员会 CNAS-CL07:2011《测量不确定度的要求》，要求切实执行 ISO17025，在校准结果中逐点正确报告校准不确定度。报告不确定度就是要说明在各项校准工作中，实验室的校准能力是否达到要求，保证校准质量。

福禄克55XX系列校准器，包括5500A，5502A, 5520A, 5522A等多产品校准器，在国内已有近两千台，服务于各级计量校准实验室以及研究机构。对于多产品校准器本身的量值溯源，一直是个比较困难的问题。由于目前我们国家还没有出台这些校准器的检定规程或校准规范，国内各校准实验室在校准这些校准器时，校准的方法不同，使用的标准仪器也不同，校准的水平也相差很大。

例如，下面是某校准实验室校准5502A的校准证书的一部分：

标准名称：高精度电压、电流、电阻测量标准装置

从上面证书摘录内容可以看出，这个《高精度电压、电流、电阻测量标准装置》实际上是福禄克高精度数字电压表8508A。列出的扩展不确定度是8508A的一年总不确定度，置信度为 95%。但是，在这份校准证书中，每个测量功能只给出了一个测试点的扩展不确定度，也是该测量功能的最优不确定度。用户无法得知这个测量标准在其他测量点的不确定度，更无法知道在其它各个测试点是否都满足不确定度比率的要求。可以说，这种校准不确定度的报告方式不满足国家规定，也不能满足用户的要求。正确的报告方式应该全面地满足有关规定，逐个测试点报告校准不确定度。

目前，中国计量院等国家级标准计量机构已经开始在校准证书中逐点报告校准不确定度了，并且此工作已经开展了几年。今后，国家对整个计量活动的要求更加严格，对标准器等级要求也会更高更严谨了。

三、 校准55XX系列校准器

55XX系列校准器包括新型号 5080A，5502A，5522A，以及过去的旧型号的5502A和5522A。它们的主要功能有如下几项：

· 直流电压 ±(0~1020) V

· 交流电压 1.0 mV~1020 V (1Hz~1MHz)

· 直流电流 ±(0~20.5) A

· 交流电流 29 mA~20.5 A, (1Hz~1MHz)

· 电阻 0 W~1100 MW

以往，很多实验室校准这些多产品校准器的方法，就是使用8508A八位半高精度数字多用表直接测量。 一台8508A真的就能够完成55XX系列校准器的校准吗?我们必须对不同的型号做具体的分析。在5500A、5502A、5520A、5522A的维护手册中，对这些仪器的校准要求和校准方法作了详细说明。尤其是提出了各个功能的校准调整点。只有保证这些校准调整点的准确度，才能保证仪器各个功能全范围的性能。当检查仪器性能时，应该尽量包含这些校准调整点。如果发现校准器准确度下降，必须通过调整这些点来恢复仪器的准确度。这里，我们以准确度指标较低的5502A为例，按照5502A说明书建议的各个校准调整点，实际计算每个校准点的测量不确定度，分析用什么样的标准设备可以校准5502A。我们会发现，有很多功能，尤其是电流测量功能，8508A并不能满足校准多产品校准器的准确度要求。

1. 直流电压校准

根据5502A维护说明书，5502A直流电压除零点外，设有八个校准调整点。在各校准调整点上，我们计算出5502A的总不确定度，8508A的直流电压测量功能的总不确定度，计算结果列于表1中。从表1可以看出，8508A直流电压的性能非常优异，在所有5502A直流电压校准调整点上，5502A直流电压的总不确定度与8508A总不确定度的比率TUR都大于7，可以满足校准的基本要求。因此，可以用8508A的直流电压测量功能直接校准5502A的直流电压输出功能。

校准之前，应该先做好校准的准备工作。首先，所有仪器都应该开机后预热至足够的时间。然后，8508A和5502A都要做仪器校零，清除零点偏移对测量结果的影响。接着，就可以进行各个测试点的校准工作了。当5502A输出 3V 以下的小电压时，应该使用低热电势测试导线，消除导线中热电势对测量结果引起的测量误差，保证测量准确度。

虽然5520A和5522A的直流电压输出的不确定度比5502A要好很多，在国内一般常校准的0.1V, 1V, 10V, 100V和1000V测试点，它和8508A的校准不确定度比率TUR仍然都大于3。但是，在生产厂家规定的校准调整点：3V, -3V和 30V的TUR仅为 2.2，2.7，2.7,这些测试点与8508A的直流电压量程不匹配，是用8508A的20V量程或，200V量程测量的，测量值仅为量程的 15%，使得8508A测量不确定度大大增加。如果需要调整这些点，需要用分压器将测量值变换为在满量程处测量，就可以解决此问题。也可以应用校准边界保证(Guardbanding)技术，更严格地控制校准器的偏移，来满足校准的要求。

2.电阻功能校准

5502A校准器可以输出连续可调电阻0-1100MΩ。根据5502A说明书，5502A交流电压设有16个校准调整点。可以用8508A直接校准5502A的各个校准调整点，可以满足在各个校准调整点上测量不确定度的要求，校准不确定度比率都大于5。可以用8508A电阻功能直接校准，满足测量不确定度的要求。表2列出了5502A的各电阻校准调整点的在校准110 kW，1.1 MW，11 MW，110 MW 四个校准点时，需要设置8508A的测量电流为LoI低电流模式，才能适合5502A电阻的工作电流范围。在低电流模式时，8508A的测量不确定度会稍微增加，但是，校准不确定度比率仍然都大于4满足测量不确定度的要求。

一般测量100kΩ以下的小电阻时，应该尽量使用四线电阻的测量方法进行校准。这是由于两线电阻测量时，测试引线电阻和接触电阻会带来附加误差，对于小电阻测量时，往往响较大。采用四线电阻测量方式，将电流激励回路和测量电阻上的电压降测量回路分开，测量到的电压不受电流回路中电阻电压降的影响，为真正的被测电阻两端电压，消除了测试引线及接触电阻带来的测量误差。在高阻校准时，应使用屏蔽线，降低干扰，减少环境因素对测量读数的影响。

校准时，应注意使用8508A的常规电阻测量功能，不要使用HiVΩ高压电阻模式,在这种模式，测量电阻时的激励电流是常规电阻测量模式的10倍，由此可能产生最高达240V的顺从电压，可能会对55xxA系列校准器电阻功能造成损坏。

另外，校准5502A的电阻功能时，最好根据测试点数值使用8508A电阻测量功能的手动量程，避免设置在自动量程时，测量仪表在寻找合适量程的同时，校准器也在寻找合适的工作电流，使得两台仪器不能尽快选择到合适的量程和合适的电流范围，而不能正常测量，长时间得不到正确的测量结果。

在校准5520A和5522A电阻功能时，在 36 MΩ，110MΩ两个校准测试点，不确定度为1.7 和 2.7。不能满足校准要求。可以应用校准边界保证(Guardbanding)，在校准调整时，更严格地控制校准器的偏移，来满足校准的要求。

3. 交流电压校准

根据5502A说明书，5502A交流电压设有13个校准调整点。在各个校准调整点上，我们计算出5502A的总不确定度，8508A的交流电压测量功能的总不确定度，计算结果列于表3中。从表3中，可以看出，8508A交流电压的性能在多数点上不能满足