气体质量流量控制器的气体质量流量计常见问题

　　实际使用中发现，当输入的气体不同时控制显示的数值与实际不符，这是什么原因呢，其实原因很简单，因为在MFC行业中，有一种参数叫CF，即气体转换系数（下面简称CF）。而MFC行业中又把N2（氮气）定义为标准气体M。N2的Ｃ值为1.00，其他的气体以氮气为中心，分布在0.1到1.4左右。


　　CF大于1.00的代表气体是单原子气体He(氦)、Ar(氩)、Kr(氪)、Xe(氙)。和N2相近的气体有02（氧气）、H2（氢气）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是几种气体的混合在一起的话，简单的分析其比率，用各自的CF值计算即可。我觉得如果稍微了解气体的话，就会分出苗条的轻量级和大力士的重量级。虽然有一部分例外，但一般是这样的。


　　CF的说明在各厂家的主页、宣传册和使用说明书上都有。但是，如果只记住了概念，可能会像在烈日下晒昏了头的Deco那样会把话说反，所以下面就讲一个实例来加深记忆。


　　假设某台MFC是用N2标定的，但是实际流过的气体是He，实际的流量比N2多。各个厂家的He的CF值稍有不同，但大约都在1.4，所以简单的说就是比N2多出1.4倍的流量。反过来，如果N2流过He的MFC，实际的流量大约是1÷1.4＝约0.71，少30%的流量


　　因此您的控制器发现流量不准时，是不是考虑出厂标定CF是否与你的气源相同。