计量光栅读数头多相信号的获得方法
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①四分透镜法:从原理上说,只要能使莫尔条纹成多个像的方法都可以获得多相信号。用四分透镜(实质上就是4个不同轴的透镜)可以得到莫尔条纹的4个像,分别用4个光电组件去接收,就输出4个信号。图1就是采用四分透镜获得四个光栅信号的方案。四分透镜就是将1块透镜分隔为4份,如图1(b)所示,然后重新排列而成。当然也可以利用棱镜和反光镜获得分像效果。
1一聚光镜 2一指示光栅 3一四分透镜 4一狭缝 5一光电二极管
图1 四分透镜读数头
②列阵光电组件法:用多个光电组件排列在一起,去接收同一个莫尔条纹信号,就可以得到多个不同相位的信号。图2是采用四极硅光电池的情况。若要取得沟个信号,莫尔条纹宽度为B,则单个光电组件在条纹宽度方向上的尺寸为b=B/n。