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[导读] 尽管很多C-V测量技术本身相对简单,但是以一种能够确保测量质量的方式实现C-V测试仪与探针台的连接却不是那么简单。目前探针台使用的机械手和探针卡多种多样,当我们试图在一个探针台上同时支持I-V、C-

尽管很多C-V测量技术本身相对简单,但是以一种能够确保测量质量的方式实现C-V测试仪与探针台的连接却不是那么简单。目前探针台使用的机械手和探针卡多种多样,当我们试图在一个探针台上同时支持I-V、C-V和脉冲式或超快I-V测量时,它们就会带来一些实际的问题。当进行I-V、C-V或超快I-V测量时,测量结果的质量与线缆的品质和所采用的探针台配置直接相关。

直流I-V测量[1]最好采用低噪声同轴线缆和远程探测线。C-V测量需要使用具有远程探测线的同轴线缆,而且线缆长度要控制的非常精确。超快I-V测试需要50欧姆的同轴线缆,但是远程探测线却给超快I-V测试带来了阻抗失配的问题。射频C-V测量需要使用特殊的射频线缆和“地-信号-地”结构的探针以及校准基座。但不幸的是,这些接线方法与其它方法都不兼容。



图4.American Probe & Technologies的探头配置

通过吉时利[2]实验室中的实验,我们选择了American Probe & Technologies公司提供的探头配置(73系列或74系列)(如图4所示),它的优势在于大多数探针台供货商都有供货。这种特制的探头是同轴的,带有一个开氏连接。其主体和屏蔽层都是浮空的,因此可用作I-V测量的驱动保护,或者通过跳接实现C-V和超快I-V测量的短接地路径。这类探针上的接头称为SSMC。有三类线缆可用于实现与这类探针的高品质连接:SSMC到三轴线缆连接适用于直流I-V测量和一般性应用(直接或间接连接),SSMC到同轴线缆连接可用于C-V或超快I-V测试[3](间接连接),而更特殊的SSMC到SMA线缆连接能够实现最佳的C-V测量性能,尤其是在较高频率下(直接连接)。图4给出了进行C-V测量的双探针配置方案;每个探针连接了一对同轴线缆,实现远程开氏检测连接。注意两个探头体之间的跳线很短。这种跳线确保了探针之间具有良好的接地连接,这对于高频测量是很重要的。
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