小电流测量偏移补偿
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结论
当配备可选的吉时利4200-PA型远程前置放大器时,4200-SCS型半导体特性分析系统可准确测量pA级或更小的电流。应通过测量整个测量系统的偏移电流来确定系统的限制,必要时进行调节。可采用一些技术减小测量误差源,例如屏蔽、保护、仪器的正确接地,以及在KITE软件中选择合适的设置,包括留有足够的建立时间。吉时利的低电平测量手册提供了关于优化低电平测量技术的更多信息。
更多参考
Keithley Instruments,4200-SCS型参考手册,第5章(含在系统软件中)
Keithley Instruments,低电平测量手册,2004年第6版。