半导体气体传感器受气流的影响

 当今，随着科技的快速发展，传感器技术也得到了很大的发展。当前，传感器的应用变得十分普及了，社会上有着各种各样的传感器，其中就包括半导体气体传感器。半导体气体传感器是一种对环境变化十分敏感的传感器。

电子鼻系统基于气体传感器的广谱响应特性和交叉敏感特性，利用模式识别手段从传感器阵列信号中提取气体种类和浓度信息。然而制约电子鼻实用化的一个主要因素是由于传感器的信号漂移造成电子鼻的识别误差增大。引起气体传感器信号漂移的因素 很多，其中，气敏材料退化、温度和湿度变化等因素已得到大量的研究。

实际上，我们在电子鼻的检测应用中发现流速变化也会造成传感器信号漂移，从而导致识别误差和甚至错误分类。但目前关于气体流速对半导体传感器响应影响的研究较少。

经试验研究表明， 气体流速对各种传感器的动态响应和稳态响应都有影响，传感器的响应时间和恢复时间随着流速的增大而缩短，响应灵敏度随流速的增大而增大。，传感器受流速的变化的影响较大，当流量大于500sccm以后传感器受流速变化的影响已越来越小。

因此，为了使电子鼻受气体流速的影响减小并且有更快的响应速度，在设计电子鼻的传感器气室时应该通过主动吸引泵使流过传感器的气体的流速大一些，最好在 500-1000sccm。并且，为了使电子鼻测量精度更高，应尽量使流过传感器的气体流速保持恒定。