台积电推出支持5nm制程的最新CoWoS封装技术

台积电日前宣布，将与博通公司合作强化CoWoS平台。

CoWoS全称为Chip-on-Wafer-on-Substrate，是台积电晶圆级系统整合组合(WLSI)的解决方案之一。

台积电和博通将支援业界首创且最大的两倍光罩尺寸(2X reticle size)之中介层，面积约1,700平方毫米。此项新世代CoWoS中介层由两张全幅光罩拼接构成，能够大幅提升运算能力，借由更多的系统单晶片来支援先进的高效能运算系统，并且也准备就绪以支持台积电下一世代的5nm制程技术。

台积电表示，此项新世代CoWoS技术能够容纳多个逻辑系统单晶片(SoC)、以及多达六个高频宽存储器(HBM)立方体，提供高达96GB的存储容量;此外，此技术提供每秒高达2.7兆位元的频宽，相较于台积电2016年推出的CoWoS解决方案，速度增快2.7倍。

CoWoS解决方案具备支援更高存储容量与频宽的优势，非常适用于存储密集型之处理工作，例如深度学习、5G网络、具有节能效益的数据中心、以及其他更多应用。除了提供更多的空间来提升运算能力、输入/输出、以及HBM整合，强化版的CoWoS技术也提供更大的设计灵活性及更好的良率，支援先进制程上的复杂特殊应用晶片设计。

在台积电与博通公司合作的CoWoS平台之中，博通定义了复杂的上层晶片、中介层、以及HBM结构，台积电则是开发生产制程来充分提升良率与效能，以满足两倍光罩尺寸中介层带来的特有挑战。透过数个世代以来开发CoWoS平台的经验，台积电开发出独特的光罩接合制程，能够将CoWoS平台扩充超过单一光罩尺寸的整合面积，并将此强化的成果导入量产。

CoWoS能够与电晶体微缩互补且在电晶体微缩之外进行系统级微缩。除了CoWoS之外，台积电三维集成电路技术平台，例如整合型扇出(InFO)及系统整合晶片(SoIC)，透过小晶片分割与系统整合来实现创新，达到更强大的功能与强化的系统效能。