中芯国际 14nm 芯片火热量产，高端光刻机缺位 7nm 研发进展滞缓

5月26日消息 此前报道，华为麒麟 710A 正式实现商业化量产，并由荣耀Play4T搭载预装，“麒麟710A”是由中芯国际完成芯片代工制造环节，采用14nm制程工艺，主频2.0GHz，属于此前麒麟710的降频版。“麒麟710A”代表着实现国产化零的突破，是中国半导体芯片技术的破冰之举。

据近期报道，中芯国际作为国内唯一能够提供14纳米制程的晶圆代工企业，成为“最强备胎”，目前华为已有产品芯片转由中芯国际代工。实地探访发现上海中芯国际的14nm芯片火热量产，7nm工艺研发多时，但碍于高端光刻机缺位，研发进展滞缓。

中芯国际14nm产线员工透露，受限于设备，中芯国际7~8nm的研发进展不是很快，做出来的成品没那么快，也没那么好，“同样一道工序，台积电只要一步就能完成，我们可能需要三四步”。高端光刻机的缺失，是其中最关键的问题，“除了光刻机，别的设备都能解决。”

今年3月份，中芯国际集成电路制造（深圳）有限公司从荷兰进口的一台大型光刻机顺利通过出口加工区场站两道闸口进入厂区，这台机器主要用于企业复工复产后的生产线扩容。但这台光刻机并非是EUV光刻机。

5月15日，中芯国际今日在港交所公告，中芯控股与国家集成电路基金等多方订立新合资合同及新增资扩股协议，国家集成电路基金II及上海集成电路基金II（作为中芯南方的新股东）同意分别注资15亿美元及7.5亿美元予中芯南方注册资本，中芯南方注册资本将由35亿美元增加至65亿美元。中芯南方已成立及建立庞大产能，并专注14纳米及以下工艺和制造技术。中芯南方已达致每月6,000片14纳米晶圆的产能，目标是达致每月35,000片14纳米及以下晶圆的产能。