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[导读]二氧化碳激光器,可称“隐身人”,因为它发出的激光波长为10.6微米,“身”处红外区,肉眼不能觉察,它的工作方式有连续、脉冲两种。人们已用它来“打”出原子核中的中子。二氧化碳激光器的出现是激光发展中的重大进展,也是光武器和核聚变研究中的重大成果

二氧化碳激光器,可称“隐身人”,因为它发出的激光波长为10.6微米,“身”处红外区,肉眼不能觉察,它的工作方式有连续、脉冲两种。人们已用它来“打”出原子核中的中子。二氧化碳激光器的出现是激光发展中的重大进展,也是光武器和核聚变研究中的重大成果。

最普通的二氧化碳激光器是一支长1米左右的放电管,它产生的激光是看不见的,在砖上足以把砖头烧到发出耀眼的白光。二氧化碳激光器作为目前连续输出功率较高的一种激光,被广泛应用到材料加工、医疗使用、军事武器、环境量测等各个领域。

在激光的发展和应用方面,CO2激光器的制作和应用较早也较多,早在1970年代末期,就有从国外直接进口CO2激光器,从事工业加工和医疗等应用。从80年代末期开始,CO2激光器被广泛引进并应用在在材料加工领域。近年来CO2激光加工设备虽然渐趋普及,但激光毕竟是一种新的工具,激光加工技术亦不同于传统的加工方法,所以工业界在引进使用CO2激光器的过程中,曾经遇到各种各样的问题,给很多厂商造成不少困扰。

早期进口和制造的CO2激光器,均为小于200瓦的低功率激光器。主要为电子工业(如电阻制造、IC标志)、非金属加工业(竹木雕、服饰、制鞋、饰品制造等)和部分医疗和研究单位所使用。

将CO2激光束透过一个光罩,聚焦于IC或半导体组件上作标志,这种CO2激光主要皆为TEA脉冲式。但随着标志加工速度的要求越来越快,加工品质的要求越来越高,以及固体激光的快速发展,最近新引进的标志加工用激光,已逐渐被固体的YAG激光所取代。用镂空的铜模罩住要雕刻的非金属材料,然后用CO2激光束在铜模上作快速扫描,即可在该材料上雕刻出复杂的图案。雕刻对象为木材、压克力、皮革和纸张等,另外也可以应用到雕刻特有的手工艺品,如竹片雕刻、软木浮雕、贝壳浮雕等。最近几年已转型用密封式CO2激光,直接以扫描振镜作少量多变化的礼品雕刻,以提高产品的附加价值。

CO2激光器是一种比较重要的气体激光器。这是因为它具有一些比较突出的优点:

1、它有比较大的功率和比较高的能量转换效率。一般的闭管CO2激光器可有几十瓦的连续输出功率,这远远超过了其他的气体激光器,横向流动式的电激励CO2激光器则可有几十万瓦的连续输出。此外横向大气压CO2激光器,从脉冲输出的能量和功率上也都达到了较高水平,可与固体激光器媲美。CO2激光器的能量转换效率可达30~40%,这也超过了一般的气体激光器。

2、它是利用CO2分子的振动-转动能级间的跃迁的,有比较丰富的谱线,在10微米附近有几十条谱线的激光输出。近年来发现的高气压CO2激光器,甚至可做到从9~10微米间连续可调谐的输出。

3、它的输出波段正好是大气窗口(即大气对这个波长的透过率较高)。除此之外,它也具有输出光束的光学质量高,相干性好,线宽窄,工作稳定等优点。因此它在国民经济和国防上都有许多应用,如应用于加工(焊接、切割、打孔等),通讯、雷达、化学分析,激光诱发化学反应,外科手术等方面。

因为二氧化碳激光器能达到的功率非常高,经常用来做工业的切割机,而低功率的激光器常常用来雕刻。此外,由于水在二氧化碳激光器的发光频率极容易挥发,因此也常常被用来做激光嫩肤,磨皮等激光手术。

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