七星流量计金属密封MFC加“大流量”了

气体质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制，大量应用于半导体领域。金属密封大流量气体质量流量控制器，在CVD、PVD、清洗机等设备上起着关键作用，但它的技术壁垒高、开发难度大，导致长期依赖进口。

北京七星华创流量计有限公司作为一家专注流量测控领域40余年的企业，为打破这一局面，组建了金属密封大流量项目攻关团队，耗时20个月，终于在2020年8月完成了CS330金属密封大流量产品的研发工作，经过半导体行业客户验证后逐步优化，最终走向产业化。

金属密封大流量CS330产品研发不断创新。在部件选择上，采用了全金属密封大流量调节阀和大流量分流器，并选用体积小、零漂小、抗干扰能力强的传感器，从根本上夯实了产品基底;在结构设计上，采取了新型金属密封结构，不仅密封更可靠，还降低了装配难度，保证了产品的一致性;在技术创新上，新型低噪声、高抗干扰信号的传感器驱动技术，增强了产品的抗干扰能力，提高了产品的准确度及稳定性;在生产制造上，采用了高精密金属加工及表面处理技术，采用机器人对零件进行表面抛光，保证表面粗糙度一致性的同时，提高了生产效率。

随着半导体设备需求的增长，金属密封大流量MFC产品的需求量也随之增长，目前北方华创作为创新主体已经行动起来，未来将继续依靠创新驱动和高质量生产，引领和创造新的产业增长极。

人工智能的机器人、抛光部件