从65纳米到5纳米，耗时15年：中微半导体搅动芯片制造设备江湖

中微半导体设备(上海)股份有限公司(证券简称“中微公司”)是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司，为集成电路和泛半导体行业提供具竞争力的高端设备和高质量的服务。中微半导体设备(上海)有限公司于2004年5月31日在浦东新区市场监管局登记成立。法定代表人尹志尧(GERALD ZHEYAO YIN)，公司经营范围包括研发薄膜制造设备和等离子体刻蚀设备、大面积显示屏设备等。中微半导体设备(上海)有限公司是一家具有自主研发功能的科研企业，研发了多款具自主知识产权的芯片设备，并在全球范围内申请了1200余项专利。

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。

国科大校长助理、教务长周丛照表示，与中微公司的合作将是该校微电子学院人才培养的一个新起点，期待在未来的长期合作中，双方充分利用中国科大的科研优势和中微公司的企业环境，共同建设“中微半导体集成电路英才班”。

了解到，中微公司创始人、董事长尹志尧为中国科大毕业生，于 1968 年从中国科大化学物理系毕业，1980 年前往加利福尼亚大学洛杉矶分校留学，并获得物理化学博士学位。2004 年，尹志尧在上海创办中微公司担任公司董事长兼总裁。

本周，中微半导体公司宣布其首台8英寸甚高频去耦合反应离子(CCP)刻蚀设备Primo AD-RIE 200顺利付运客户生产线。

据该公司介绍，Primo AD-RIE 200是中微半导体自主研发的新一代8英寸CCP刻蚀设备。基于12英寸CCP刻蚀设备的成熟工艺，Primo AD-RIE 200在技术创新和生产效率方面都有了进一步提升，能够满足不同客户8英寸晶圆的加工需求。为提高生产效率，Primo AD-RIE 200可灵活配置多达三个双反应台反应腔(即六个反应台)。此外，Primo AD-RIE 200提供了可升级至12英寸刻蚀设备系统的灵活解决方案，以满足客户生产线未来可能扩产的需求。

近两年，全球8英寸晶圆加工设备一直处于紧缺状态，且市场供应始终难以满足应用需求。此次，中微半导体基于其12英寸CCP刻蚀设备技术，推出了8英寸CCP刻蚀设备，对于进一步拓展市场，提升行业影响力将会发挥重要作用。

不过，这也仅仅是起步阶段，毕竟中国的半导体设备企业在全球的市占率还是比较低的。作为制造芯片的重要环节，刻蚀设备市场的技术和产品主要还是被美国和日本的那三、四家大厂把持着。

芯片紧缺是当下世界一直面临的一项重大问题，作为芯片制作过程中的关键—光刻机和刻蚀机，它们的受关注度也是只增不减。

目前世界上生产制作刻蚀机最顶尖的厂商就是美国的泛林半导体、应用材料公司和日本的东京电子，它们在全世界市场占比可以达到90%以上，可以说是撑起了刻蚀机市场的一片天。而国内生产制作刻蚀机的领先代表厂商就是中微半导体，该企业的出现可以说是打破了国外对于刻蚀机技术的封锁，对我国半导体事业的发展起到极大的推动作用。

目前，全球刻蚀设备市场主要由Lam，东京电子(TEL)和应用材料(AMAT)这三家把持，它们的合计市场份额就占到了全球的90%以上，其中，Lam独占52%的市场份额，东京电子与应用材料分别占据 20%和19%。

中国本土的刻蚀设备企业主要有中微半导体、北方华创、屹唐半导体和中电科。其中，中微、北方华创和屹唐半导体均以生产干法刻蚀设备为主，中电科除了生产干法刻蚀设备以外，还生产湿法刻蚀设备。此外，创世微纳、芯源微和华林科纳等也生产刻蚀设备，但市占率和影响力较小。

其中CCP刻蚀设备Primo AD-RIE、Primo SSC ADRIE、Primo HD-RIE等产品批量应用于国内外一线客户的集成电路加工制造生产线，在部分客户市场占有率已进入前三位。此外，在先进逻辑电路方面，中微半导体已经成功取得5纳米及以下逻辑电路产线的重复订单。

在存储电路方面，中微半导体的刻蚀设备在64层及128层3D NAND的生产线得到广泛应用。随着3D NAND芯片制造厂产能的迅速爬升，该等产品的重复订单稳步增长。同时，公司积极布局动态存储器的应用，并开始工艺开发及验证。Primo AD-RIE 200作为中微半导体新推出的用于8英寸晶圆加工的CCP刻蚀设备，不仅丰富了中微半导体现有的刻蚀设备产品线，也是中微半导体发展历程中的又一个重要里程碑。

中微半导体的发展之路虽然充满坎坷，但还是获得了举世瞩目的成就，在2020年4月17日，中微公司公开了2019年的营收情况。在2019年，公司的营业收入达到19.47亿元，相较于去年，增长了18.77%，其市场价值更是突破1400亿。而最近有相关媒体在5月8日报道称：中微公司更是研发制作出了3nm刻蚀机，不仅完成了前期的设计、制作、测试等一系列工作，并且已经顺利进入到了量产的阶段。

中微半导体公司能够实现3nm刻蚀机的量产，这样的发展趋势也是必然的，截止到2021年上半年，中微公司投入总共20亿左右到研发高端设备中，在2019年期间就投入了1.56亿。自建设以来，南昌中微半导体项目开展了多项安全教育活动，该项目以安全文明施工和质量管理标准化为基础，打造多重标准化管理体系，通过实施人员差别化管理、安全防护标准化和安全资料标准化“双标”举措，组织行为安全之星活动、开展多元化安全教育，切实提升作业人员安全意识。

为严格落实扬尘治理“六个百分之百”要求，项目部成立了绿色施工突击队，落实工地周边100%围挡、材料堆放100%覆盖、出入车辆100%冲洗、现场地面100%硬化、拆除作业100%洒水、渣土车辆100%密闭，并安装了塔吊自动喷淋、围挡自动喷淋以及雾炮机等降尘设施，应用了可周转移动样板、定型防护、钢木龙骨、变频塔吊、变频电梯、节能灯等物资设备。为节约资源、降低损耗，项目部室外道路、停车位、室外散水均采用了永临结合的方式。

据中铁建设集团中南建设有限公司南昌中微半导体项目副经理尹鹏介绍，为提升安全生产水平，强化风险防控，项目部为外架作业人员搭建了一条“安全生命线”，切实护航工地高空作业人员生命安全。中微半导体公司无论是在资金投入、研发人员、研发专利、生产设备等各方面都是非常不错的，可以说是并不输于美国的一些生产厂商，相信今后的发展之路一定会更加辉煌。