先进传感器研发新突破：国内首条12英寸试线成功通线

传感器(英文名称：transducer/sensor)是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。传感器的特点包括：微型化、数字化、智能化、多功能化、系统化、网络化。它是实现自动检测和自动控制的首要环节。传感器的存在和发展，让物体有了触觉、味觉和嗅觉等感官，让物体慢慢变得活了起来。通常根据其基本感知功能分为热敏元件、光敏元件、气敏元件、力敏元件、磁敏元件、湿敏元件、声敏元件、放射线敏感元件、色敏元件和味敏元件等十大类。

近年来，随着工业互联网、人工智能、智能制造的兴起，作为数据采集的源头，传感器得到了广泛的应用。

传感器是智能装备重要感官，其研发过程往往分为两个阶段：从技术创新到成本降低。

传感器作为智能装备的自主输入装置，相当于人的各种感觉器官。智能装备对于外界环境的感觉主要有视觉、位置觉、速度觉、力觉、触觉等。

到2019年，全球传感器市场规模已经达到2265亿美元。然而，目前国内传感器的供应上仍然依赖进口，尤其在中高端传感器领域，对外依赖度达到80%。在这样的背景下，加速先进传感器产业的国产化，就显得尤为重要。日前，国内传感器行业迎来了好消息。

继全国首条8英寸MEMS研发中试线落地上海嘉定工业区后，近日，由国家智能传感器创新中心(以下简称“创新中心”)建设的国内首条12英寸先进传感器研发中试线，也在嘉定成功通线。

随着上海市加快推进城市数字化转型，物联感知网络越织越密，先进传感器产业蓬勃发展。“面向新兴技术发展和市场应用需求，创新中心将在12英寸中试线持续开发新材料、新工艺、新器件等关键共性技术，重点突破光学、声学、力学等先进传感器的核心工艺，并推动相关产品及应用的产业化。”创新中心相关负责人表示，未来，将重点搭建共性技术平台，专注于先进传感器特色工艺研发和中试。

据媒体报道，在我国上海智能传感器产业园内，国内第一条12英寸先传感器中试线，已经成功实现通线。需要知道的是，所谓的“中试”，也就是中间阶段的试验，在科技成果转化为生产力的过程中，中试环节是少不了的。

这是因为任何科技成果在向生产力转化时，都不可避免地面临试错问题，而中试就是根据小试成果进行放大，如果这一步成功后，就基本可以“官宣”量产了。相关统计数据显示，在科技成果产业化的过程中，如果没有中间阶段的试验，它的产业化成功率只有30%，通过中试后，这一数据就提高到80%。所以，中试的好处是显而易见的。

据介绍，该中试线以国产设备为主，具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进传感器和晶圆级 3D 集成技术的核心工艺能力，同时为国产装备提供验证平台，加速先进传感器产业链国产化，实现自主可控。

了解到，国家智能传感器创新中心表示，将在 12 英寸中试线持续开发新材料、新工艺、新器件和新集成等关键共性技术，重点突破光学、声学、力学、生物等先进传感器的核心工艺，并推动相关产品及应用的产业化。

目前，创新中心已联合中国传感器与物联网产业联盟的1000余家企业开展共性技术研发，形成的“产、学、研、用”协同创新机制，将加速国内先进传感器及相关应用的核心技术发展，推动智能传感、物联网、人工智能的生态体系建设。

近年来，我国也是十分重视传感器行业的发展的，出台相关政策支持，比如在智能传感器产业相关发展指南、“十三五”发展规划中，我国对传感器的发展目标和任务都有相关的规定。

面向新兴技术发展和市场应用需求，创新中心将在12英寸中试线持续开发新材料、新工艺、新器件和新集成等关键共性技术，重点突破光学、声学、力学、生物等先进传感器的核心工艺，并推动相关产品及应用的产业化。

12英寸中试线位于上海智能传感器产业园内，产业园以智能传感器为核心，以创新平台和龙头企业为支撑，伴有精准的政策助力，发展传感器特色工艺，积极培育和引进领先的智能传感器产业链领军企业，促进产业集聚和协同发展，力争将上海嘉定打造成国内传感器领域产业高地。

国家智能传感器创新中心致力于先进传感器技术创新，以关键共性技术的研发和中试为目标，联合中国传感器与物联网产业联盟1000+ 家产业链各领域的代表企业开展共性技术研发，形成“产、学、研、用”协同创新机制，加速我国先进传感器及其相关应用的核心技术发展，推动智能传感、物联网、人工智能的生态体系建设。