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[导读] 2012年3月,东方集成在上海某研究所成功安装了SENTECH SI500D等离子体沉积系统。SI500D等离子沉积系统是ICP-PECVD设备,用于在基片上沉积 SiOx, SiOxNy或 SiNy薄膜。沉积薄膜的厚度、折射率、应力可以简单的、连续的

2012年3月,东方集成在上海某研究所成功安装了SENTECH SI500D等离子体沉积系统。SI500D等离子沉积系统是ICP-PECVD设备,用于在基片上沉积 SiOx, SiOxNy或 SiNy薄膜。沉积薄膜的厚度、折射率、应力可以简单的、连续的调节。
   这是带LOADLOCK的SI500D等离子沉积系统在中国的第一次安装。SENTECH ICP-PECVD设备的安装,由德国原厂技术支持工程师和东方集成工程师共同完成,由SENTECH和东方集成共同承担售后保修,具有标志性的历史意义。
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   本次的安装,体现了东方集成为客户考虑,将工作做完美的一贯宗旨;也标志着,SENTECH中国区等离子体刻腐蚀和沉积系统业务在与东方集成的合作中进入了飞速、稳定的发展。

关于东方集成
北京东方中科集成科技股份有限公司(简称“东方集成”)是在中关村科技园区注册的高新技术企业,是中国电子测试与科学分析领域领先的综合服务商,是SENTECH中国区的重要战略合作伙伴。

“东方集成”总部设在北京,在上海、南京、苏州、深圳、武汉、西安、成都等地设有分支机构,拥有一支超过200人的专业团队。通过与业务伙伴的紧密合作,凭借覆盖全国的营销服务网络,致力于为客户提供专业、方便、快捷的本地化服务。

公司的客户涉及工业电子制造、文教科研、通信以及信息技术、微电子、新能源、生物医药等多个领域,通过与知名厂商的合作,为客户提供产品增值销售、应用解决方案、科技租赁、计量校准、维修维护和科技资产外包管理等综合服务。

秉承“科技无限、服务创新”的宗旨,“东方集成”将继续通过不懈的努力,为客户提供“更丰富的产品选择、更经济的解决方案、更全面的专业服务”,成为中国本领域的领导者。

 

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