edwards成为450mm晶圆制造设备联盟的创始成员

21ic讯 Edwards 集团有限公司最近加入了一个由全球十家半导体设备公司组成、旨在组建450mm晶圆制造设备联盟(F450C)的工作组。这是全球450联盟(G450C)的一个分小组，其建立是为了解决下一代450mm半导体晶圆制造设施的复杂开发和基础设施要求。

F450C办公地点位于纽约州立大学阿尔巴尼分校的纳米科学和工程学院(CNSE)，其成立是为了开发必要的关键设备技术，以确定有竞争力的设备解决方案，从而使450mm晶圆制造得以实现。Edwards 是联盟中唯一一家代表真空和尾气处理设备的公司，这体现了Edwards公司在半导体行业以及其他广泛应用中的长期经验和技术领先地位。

Edwards公司CEO Jim Gentilcore 评论道：“我们对于F450C联盟内部的合作机会感到很高兴，Edwards将可以把在真空和尾气处理技术领域的技术专长和创新应用到产业的下一个巨大变革。联盟成员之间的协作将是理解升级过渡中的各方面实际需求的关键，也将最终实现由450mm晶圆制造工艺所带来的生产效率提高。”

G450C 主要为450mm制造设备和工艺技术提供指导，而F450C的目标则是开发向450mm晶圆制造过渡过程中必不可少的配套设备和基础设施方案。这些方案可以解决更多超出450mm晶圆生产带来的制造难题，因为下一代制造工厂带来了设施设计、基板处理、工具连接、化学品分送、水和电气系统以及许多其它领域的新挑战。

2013年6月28日，纽约州州长Andrew M. Cuomo宣布，F450C在纽约州立大学纳米科学和工程学院(CNSE)的成立带来500多万美元的新私人投资，并创造了多达150个高科技工作岗位。

在SEMICON® West 2013展览会期间将会举办一个450mm制造EHS论坛(450mm Manufacturing EHS Forum)，届时将讨论随着制造商转向450mm晶圆工艺而带来的环境、健康和安全(EHS)问题，以及所产生影响和挑战。Edwards将在论坛上做题为“绿色模式：集成实现电力(Utility)节省”的报告。