中科院LED照明研究所成功研究MOCVD设备

日前，中科院LED照明研究所研制成功LED灯芯片制造的关键设备MOCVD，将有利于推动LED灯价格下降，也使中国LED设备制造进入一个新的历史阶段。

据了解，MOCVD为金属有机化合物化学气相沉积，是生产LED灯芯片的关键设备，技术难度极大。目前世界上主要由德国Aixtron公司与美国的Veeco（Veeco兼并Emcore公司MOCVD业务）垄断。

MOCVD的技术路线主要有Aixtron采用行星反应(Planetary Reactor)，Aixtron兼并Thomas Swan的Closed Coupled Showerhead(CCS)反应室，Veeco公司采用Turbo Disc反应室，但必须有极高的温度压力控制能力，包括对多种气体的量的控制，而且这一切都在一个密闭的空间里实现，显然难度比起汽车发动机高得多，因此国外很多公司研发多年最终失败。

由于存在技术垄断及技术壁垒，有关厂家采用高价策略以攫取暴利，一套设备以千万计，导致最终的LED芯片价格居高不下，也使LED灯价格难以降低和普及，但中科院LED照明研究所研制成功的MOCVD，已达到目前市面销售的MOCVD的水准，投入LED灯的工业化生产将会带来LED灯价格的降低，也将使LED灯得到普及。