基于D_A集成控制的压电陶瓷驱动电源设计

【摘要】：压电陶瓷驱动电源是纳米级工作台系统的关键部件。文章提出了采用多级驱动的电源结构,并在此基础上开发研制了基于D/A集成的单片机控制压电陶瓷驱动电源,该电源由多级数控可调直流电压源串联构成,采用具有过载保护的三端可调稳压集成模块LM317作为稳压核心元件。所设计电源分辨率高,响应速度快,驱动能力强,结构简单,调试方便,适用于压电陶瓷驱动器。