卓锐微推出ACT2100型MEMS加速度传感器

日前，北京卓锐微技术有限公司（Acuti Microsystems Co., Ltd.）推出ACT2100系列高精度MEMS加速度传感器。该系列加速度传感器采用先进的SOI体硅工艺制造，并基于卓锐微技术第二代Cery2000高精度MEMS加速度传感器专用接口芯片进行信号调理。其应用领域包括地震勘探和钻探、惯性导航和制导、振动测量、倾斜测量等工业领域。在地震勘探领域中，通过使用加速度传感器来替换传统的速度传感器，可以在低频和高频获得更好的信噪比，从而有效提升成像质量。

由于采用创新的设计理念以及MEMS-ASIC一体化设计方法，卓锐微技术的ACT2100-3加速度传感器在提供±3g量程的同时，噪声本底小于2ug/sqrt（Hz），工作带宽大于900Hz。其ACT2100-50系列更是拥有高达114dB的信噪比（100Hz带宽）和3KHz的工作带宽。目前卓锐微技术正在完善ACT2100系列的其它产品线，预计在2009年第四季度覆盖包括3g/10g/50g/100g/400g等不同量程范围。

ACT2100系列采用5V标准电压供电，典型功耗为10mA，其差分输出范围为±4V，可驱动长达150米电缆。LCC48的封装使得ACT2100系列在承受机械冲击以及环境温度变化时保证良好的真空密封性。小型化封装使得ACT2100可在空间/体积/重量受限的应用中实现高精度的加速度信号检测。

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