危机时，中国打开MEMS的潘多拉魔盒

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2006年夏假的一天，刚从美国回来的张海霞被学生问得哑口无言。当时她正在讲台上激情四射地讲着MEMS美好的应用前景，会成为未来的支柱产业，甚至对工业基础都会有一个很大的贡献。突然一个学生问了一个问题，“老师，您讲得特别好，我也很激动，可我就是找不到工作”。

这让张海霞觉得很受打击，学生讲得很残酷但却是事实，很多研究MEMS的学生毕业后都转向了IC。在北大微电子学研究院从事MEMS研究是她热爱的事业，对于老师来讲，学生就是产品，而现在学生直白地告诉她：你生产的产品没有销路。作为老师的意义又何在呢？

短短的3年之后，北大校友赵阳博士所创建的美新半导体公司（以下简称“美新”）已在纳斯达克上市（2007年12月），而另外一位北大校友李刚博士创建的苏州敏芯微电子技术公司也是业界受人关注的新星。篷勃发展的MEMS产业就像一张张开的大网，对人才有着巨大的吸纳力，MEMS的学生再也不用为找不到工作而发愁。

在全球经济危机的大背景下，半导体业也一片萧条，MEMS则如灰暗中的一抹亮色，而中国的MEMS产业则是最亮的那一部分。

中国，MEMS的加速计

为什么MEMS会在产业的整体下滑时，反而迎来

自己的黄金发展？事实上，MEMS有自己的产业循环规律。1987年～2000年是MEMS的黄金发展期，打印头、加速度计、光传感器等推出后，产业的增速非常快。但此后陷入了低谷，没有振奋人心的创新，沉湎在传统的应用中踯躅不前。2005年开始，美新以及一些生产谐振器的美国厂商的新兴MEMS企业为市场带来了新的动力！2006年11月，在产业沉寂了多年之后，任天堂Wii出现；仅仅一个半月后，苹果的iPhone又震撼登场。MEMS一下子打开了最广阔的市场――消费类应用。

宛如潘多拉的魔盒被打开，MEMS做到了以前做不到的事――真正走进千家万户，出现在各种家电中。进入了消费市场，意味着无限可能。“整个经济的下滑不代表老百姓不生活，老百姓生活需要更加便宜的好东西。”张海霞认为，MEMS刚好可以逆流而上，发展出更多的新应用，来惠及老百姓的生活，比如说新型消费电子、家庭医疗、健康监控。

就像其他技术一样，产业的发展取决于对应用的把握，而这一点在MEMS身上表现得尤甚。如加速度计的兴起，就是因为可以用于汽车，也可以用于游戏……目前驱动市场发展的主流传感器包括惯性传感器及加速度传感器，而生物医疗所用到的压力传感器也早已得到广泛应用，并不再是书本上的概念了。

而“应用”也成了中国MEMS企业成长的秘诀。最典型的就是从芯片转向应用，而这也被张海霞看作是中国企业成长的方向。MEMS器件本身的价格非常低，一般在10美元以下，而做成应用的模块后价格成百上千倍翻升，附加值非常高。在MEMS领域处于前列的德国、美国、日本公司都不出售独立的器件，而是模块，这是未来的趋势。中国也有几家做的不错，应用研发已经成为美新公司新的主要发展方向。而重庆金山公司则是非常典型的中国企业成长例子，它的成长快完全是因为抓住了应用，不做器件，只做系统。不光生产胶囊内镜，更是采用传感器，射频，智能控制系统等全面整合方案。如今金山的客户遍布58个国家和地区，市场占有率达到95%以上。

“原来你做器件，不知道怎么用，现在市场等着你，”张海霞认为，“MEMS的魅力也是如此，你可以用到不同地方，只要你想得够广泛”。张相信驱动MEMS发展的动力不仅仅是在成本不断降低的今天，替代原有器件；更重要的是可以扩大市场应用范围。张海霞判断，今后中国企业还会有比较大的突破，而在生物医疗的方面会表现更加抢眼。

曾经Yole Developpement的一位分析师在和张海霞聊天时，说起“我统计时从不统计中国。中国有MEMS企业吗？” 张海霞当时被气着了，立马回敬：“你也太落后了，中国在纳斯达克上市的有，做得好不想上纳斯达克的也有。”

其实也难怪那位分析师，早期中国企业没有在MEMS领域中看到自己的舞台，很多人在做之前没有想到市场，结果产品出来后无人问津。最早觉醒的是一批海归，他们在国外看到了MEMS的未来，而MEMS的技术已相对成熟，再结合中国优势――好的人力资源及环境。有很多企业虽然规模不大，但应用目标准确，并不是盲目去做。

“MEMS也快made in china了”，MEMS市场的兴起同时另外改变就是中国的加工业。如今的IC制造业赚钱并不容易，foundry急需代工附加值高的产品。中芯国际今年引进了很多MEMS设备，并且高调宣布进军MEMS代工业，在短短的半年时间里已经有了几个稳定的大客户。

中芯国际的加盟实际上也解决了中国MEMS企业面临的难题，“由于国内MEMS企业规模普遍不是太大，很难找海外的大代工厂，以前在国内找不到合适的地方加工，中芯国际恰到时机的出现，解决了这些企业的代工问题。”张海霞判断，国内明后年会有

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