InvenSense开发出4mm见方的数字输出陀螺仪

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美国InvenSense开发出了双轴陀螺仪传感器（角速度传感器）的新产品。封装尺寸为4mm×4mm×0.9mm，输出为数字信号。该产品适用于800万以上像素手机相机的手抖动补偿。采用200mm晶圆量产，以确保量产规模，同时还能够大幅降低成本。

角速度传感器是继加速度传感器之后出现的另一种有望面向手机大量供货的MEMS元件。InvenSense率先向市场投放了硅型产品，并以此开拓了消费电子产品市场。目前，全球最大的消费电子产品用MEMS传感器供应商意法半导体（STMicroelectronics）也上市了角速度传感器，两公司一同供货之后，预计角速度传感器市场将进一步扩大。

此次，InvenSense在角速度传感器中内置了16bit的A-D转换器，使其可与I2C及SPI等接口直接相连，从而缩小了配备于手机时的安装面积。除了手机之外，预计还将配备于数码相机。此次沿用了该公司量产原产品时采用的制造工艺（“Nasiri工艺”），该工艺可在低温条件下使CMOS芯片和MEMS芯片实现金属与金属的接合。封装采用QFN，将于09年10月开始样品供货。