FormFactor将MEMS探针卡应用于多值NAND闪存

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美国FormFactor已将该公司300mm晶圆检查用MEMS探针卡应用于NAND型闪存。由于存在装置成本和交货期等问题，迄今一直难以应用于闪存，而主要用于DRAM检查。

此次，该公司新开发出了适用于32nm以后微细工艺多值产品的MEMS探针卡。NAND型闪存的数据识别采用电荷量，读取电荷量作为单元晶体管阈值电压的变化。随着NAND型闪存微细化，电荷量减少，并且8～16值等多值产品中进行区别的电荷量的空白减小。在检查这种小空白（Margin）时，探测时的接触电阻存在误差，难以进行准确测量。而使用该公司此次研制的MEMS探针时，接触电阻误差要比现有探针小。基于金属悬臂梁的MEMS探针，其尖端接触焊点时，会将布线上焊点（Al）上的绝缘膜（Al2O3）向水平方向拉动。这样便可在保持低接触电阻的前提下进行稳定探测。为减小检查时的空白，降低了作为不良处理的合格品的比例。

鉴于以上特性，MEMS探针可以说从原理上适用于微细多值闪存，但客户对成本和交货期的要求却越来越严格。该公司此次开发的产品是设计与DRAM使用的MEMS探针卡大不相同的闪存专用品。降低了探针本身的成本，同时降低了客户的投资成本，能够支持引脚少的测试器。另外，为缩短交货期，与该公司的客户之间制定了探针芯片等的规格标准。因此，在量产大容量产品和微细产品时，该公司便可重新利用上代使用的探针的设计资产。

该产品采用了根据温度变化补偿探针弯曲的结构。因此，能够实现在晶圆内的任何位置都稳定的接触。此次推出的MEMS探针是该公司与一家存储器厂商率先开发的，已应用于量产线。