IMEC等利用振动发电的MEMS元件实现85μW电力

比利时研究机构IMEC、荷兰研究机构Holst Centre与TNO在“2009 IEEE International Electron Devices Meeting（IEDM 2009）”上宣布，联合开发出了将振动能量转换为电力的MEMS元件，并获得了最大85μW的电力。此前IMEC开发出的MEMS元件中，最大电力为 60μW。

此次的元件是采用6英寸硅晶圆形成硅MEMS，然后在此处积层压电材料AlN（氮化铝）后制作出来的。原来压电元件一直采用PZT（锆钛酸铅）。 AlN在积层时无需精密调整铝（Al）与氮（N）的比例，积层速度比PZT快3倍。通过改变MEMS的尺寸等，元件的谐振频率可设定在 150～1200Hz的范围内。

另外，IMEC等还将该MEMS元件实际封装于无线发送数据的温度传感器中。该温度传感器以10μW的电力工作，因此一旦施加加速度为0.64g、振 动频率为353Hz的振动，便可每隔15秒向基站传送温度数据。（记者：野泽 哲生）