功耗为10mW的MEMS反光镜，瞄准激光投影仪用途

三美电机试制了激光投影仪用MEMS反光镜。利用压电元件（PZT）驱动反光镜，搜索激光并投影影像。解说员表示，“驱动功耗仅为10mW，电压也只有 数V”。在会场上，以试制反光镜扫描绿色激光，显示出了512×512像素、60帧/秒的影像。试制反光镜和激光集成在尺寸为 46mm×18mm×13mm的模块中。另外，MEMS反光镜的实用化事宜尚未确定。

该公司的PZT薄膜是以旋压覆盖（Spin Coat）法制成的。解说员称，“与溅射法成膜时相比，易于抑制特性不均”。

试制的MEMS反光镜的外形尺寸约为8.7mm×6.4mm×0.5mm。反光镜部分的直径为1mm。照射波长为450nm的光时，反射率超过 85％。可以在水平方向上以30KHz频率、垂直方向上以60Hz频率驱动反光镜。

此试制品为三美电机与日本产业技术综合研究所氢材料尖端科学研究中心氢脆化评价研究团队饭岛高志小组共同研发的成果。（记者：根津 祯）