吉时利Ultra Fast-IV整合三大特性分析功能

美商吉时利(Keithley Instruments)公司日宣布推出最新的4225-PMU Ultra Fast I-V模块，进一步扩充4200-SCS半导体特性分析系统的功能选择。凭借着宽广的动态量测范围，4225-PMU只需单一仪器即可完成对组件、材料和制程的全方面特性分析。

在4200-SCS既有的强大测试环境中整合了超快速的电压波形产生和电流/电压测量功能，可实现最广的电压、电流和上升/下降/脉冲时间动态量测范围，并提高了系统对新材料、组件和制程(process)进行特性分析的能力。此外，利用4225-PMU可像进行直流测量一样轻松地提供I-V输出与量测。其宽广的可程序化电压/电流源及量测范围、脉宽和上升时间使其适于对电压输出的速度有高度需求且需要同步测量的应用，例如奈米CMOS或闪存。

每个4225-PMU模块提供了双信道、整合电压电流源和量测功能的模块，且仅占用九插槽机架其中的一个插槽。每个机架最多可安装四个这样的模块，实现最高8个超快速的电压电流源/量测通道。每个信道兼具高速电压输出(脉宽范围从60奈秒到直流)和同步电流与电压量测两大功能。这种模块为高速电压脉冲提供同步电流与电压量测，采集速率高达200MS/s，具有14位模拟数字转换器(A/D)，每个通道采用了两个A/D(每个模块含四个A/D)。使用者可以选择两种电压源范围(±10V or ±40V into 1Mohm)，以及四种电流量测范围(800mA, 200mA, 10mA, 100uA)。

每个4225-PMU模块可配备多达两个可选购的4225-RPM远程放大器/开关，因而提供四种额外的低电流范围。它们还有助于减少电缆电容器效应(cable capacitance effect)，并且支持在4225-PMU、4210-CVU和机架中其它SMU之间的自动切换。除此之外，能部份取代4225-PMU电压源功能的4220-PGU脉冲产生器，也可供您选择。

4225-PMU和4225-RPM结合在一起能够支持其它单台仪器无法实现的多种应用，例如通用Ultra Fast I-V量测。脉冲式I-V测试能被应用在很多地方；透过使用窄脉冲和/或低Duty Cycle脉冲而非直流讯号，能够防止组件自发热效应(device self-heating)。

CMOS组件特性分析。4225-PMU/4225-RPM的高速电压源和电流量测的灵敏度使其非常适于CMOS组件的特性分析，包括high-K组件和先进CMOS技术，如绝缘层覆硅晶圆(SOI)。非挥发性内存测试。安装于系统上的KTEI软件适用于对闪存和相变化内存(PCM)的组件测试；适合单个储存单元或小规模储存数组的测试，例如研发或制程验证之类的应用。

化合物半导体组件与材料的特性分析。4225-PMU能够对III-V族材料进行特性分析，例如氮化镓(GaN)、砷化镓(GaAs)和其它一些化合物半导体。它允许使用者设置一个脉冲偏移电压，然后从非零值进行测量，因而研究组件的放大增益或线性特性。

NBTI/PBTI可靠性测试。可选购的4200-BTI-A Ultra Fast BTI软件包整合了目前已知、执行BTI测试时所需的所有软硬件，并具有最快、最灵敏的测量性能。此外，自动特性分析套件(ACS)软件还支持全自动晶圆和晶舟层级测试，内建NBTI/PBTI测试库，搭配容易使用的GUI。

目前，实验室仅需安装一套灵活的系统即可处理以下三种类型的量测：精密直流I-V测试(Model 4200-SMU)、交流阻抗(4210-CVU C-V仪器)和Ultra Fast I-V或Transient I-V测试(4225-PMU)。4225-PMU支持四种扫描类型：线性、脉冲、任意波形和专利申请中的Segment ARB。Segment ARB模式简化了波形的创造、储存和产生过程，最高支持由2048个使用者自定义线段所组成的波形，具备出色的波形产生能力。

可选配的高效能缆线方案与4200-SCS兼容，能够连结至探针台进行多种测试，并简化在直流I-V、C-V和极速I-V测试之间的频繁切换过程，无需重新布线，进而增强了讯号的准确性(signal fidelity)。