诺发系统售出第1000台化学气相沉积系统

陈妍蓁 诺发系统日前宣布卖出第1000台化学气相沉积系统(Vector)给新加坡GLOBALFOUNDRIES Fab 7， GLOBALFOUNDRIES为拥有先进半导体制造技术之主要供应者，近期更与Chartered Semiconductor Manufacturing进行整合，Fab 7亦会将12吋VECTOR Express?应用于65奈米及更先进技术的大量生产。



VECTOR系统最初于公元2000年7月引进，是可沉积各种介电层应用的量产机台。 在前段制程中， VECTOR应用于沉积闸极spacer与衬层、应变硅之高应力薄膜、非结晶碳与抗反射层、硬质遮蔽膜及蚀刻终止层；后段制程应用则包括于inter-metal与inter-layer之介电层、铜扩散阻障层、低介电常数覆盖层与最终保护层。而近期， VECTOR则被采用于新的介电层应用，如：超低介电常数(ULK)薄膜与TSV封装技术之介电层。

VECTOR之所以在半导体制造市场被广泛接受的主因，来自于产品的高生产率、低装设与营运成本，设备体积小、高芯片与芯片间的再现能力与极佳的100奈米以下缺陷能力。

在Fab 7中，诺发系统VECTOR平台被使用于65奈米及先进4= 40奈米技术节点之前后段制程的介电层应用，GLOBALFOUNDRIES Fab 7营运长Peter Benyon表示：「我们期盼与诺发继续于开发有成本效益，及先进技术解决方案层面的合作关系，以持续协助我们的客户快速将创新的设计导入市场」。

诺发系统公司 PECVD事业单位资深副总Kevin Jennings也表示：「随着新合作伙伴Chartered Semiconductor加入GLOBALFOUNDRIES，我们非常开心庆祝卖出第1000台机台，迈向新的里程碑，Chartered Semiconductor自2004年购入第一台VECTOR系统后，便长期成为诺发系统的重要客户之一，我们也希望能与GLOBALFOUNDRIES发展出相同的紧密关系」。