顶尖半导体设备产商选择Crossing Automation公司的Spartan EFEM作为第二代量测工具

2010年6月8日，Crossing Automation公司（www.crossinginc.com）近日宣布，其开发的SpartanTM设备前端模块（EFEM）已被一家顶尖的光刻与量测设备产商选择作为第二代量测工具。Crossing是一家向大规模半导体设备产商提供高效且能有效降低成本的前端与后端工艺自动化解决方案的领先供应商。

Spartan EFEM之所以被选中，是因为一方面Crossing能对其进行个性化设计来满足客户的特定需求，另一方面它的测试平台容易实现软件集成。此外，Crossing还能提供ExpressSolutions?工程支持，这将显著缩短产品的市场推广时间。此订单表明，Crossing的常压晶圆加工技术又获得了一家一线原始设备制造商（OEM）新客户。

?“这个大订单完全证明了Spartan的技术价值，以及我们通过Spartan提供的服务与支持能力致力于为OEMs服务，”Crossing Automation公司的产品营销副总裁May Su介绍，“我们能够和客户一道设计并提供定制界面，极大地促进制造工艺与测试模块的集成，同时 Spartan的卓越表现能满足各种光刻工艺的严格要求。”

通过Spartan，Crossing能够通过简洁统一的设计提供完整的EFEM解决方案，该方案提供更高效率、更好的微尘性能、优化的超净空间和更低的拥有成本。促使用户选择Spartan的主要功能之一便是其先进的被动背面接触（PBC）终端受动器设计，可消除边缘接触处的微尘，并通过使用专用的聚合物衬垫尽量减少背面的微尘。Spartan自带的Wafer Engine?机器人的高精度和高可靠性也为它提供了更多的竞争优势。

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