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[导读]全球半导体产业走入50奈米制程后,浸润式曝光机台(ImmersionScanner)出现大缺货,尤其是最新款的NXT:1950i机种上,交期几乎拉到快12个月,使得2010年才下订单的台系DRAM厂苦等多时;存储器业者透露,尔必达(Elpida)阵

全球半导体产业走入50奈米制程后,浸润式曝光机台(ImmersionScanner)出现大缺货,尤其是最新款的NXT:1950i机种上,交期几乎拉到快12个月,使得2010年才下订单的台系DRAM厂苦等多时;存储器业者透露,尔必达(Elpida)阵营开始转向采购旧机种XT:1950i应急。然美光(Micron)阵营则认为,旧机种顶多用到40奈米制程就是极限,不像新机种NXT:1950i可以一路做到30奈米。

半导体产业在进入50奈米以下制程,都必须开始用ImmersionScanner,此机器设备1台价格高达新台币10亿~20亿元,过去2年DRAM产业不景气时,台系厂商根本没有资金可以去预定机台,因此设备商ASML现在交货都以台积电、三星电子(SamsungElectronics)、东芝(Toshiba)等大厂为主,台湾DRAM厂转制程的进度也因此被严重耽搁。

目前4大DRAM阵营当中,三星和海力士(Hynix)等韩系大厂早已拿到ImmersionScanner机台,不但已经量产50奈米制程,也开始大量转进30奈米,美光阵营由于资金充足,ImmersionScanner机台近期也都陆续到货,只剩下尔必达阵营的ImmersionScanner机台到位时程最晚。

存储器业者透露,尔必达阵营中的台系DRAM厂,日前也决定放弃等待交期长达12个月的新机种NXT:1950i,转向采购旧机种XT:1950i,一来不用等太久,二来XT:1950i机种比NXT:1950i便宜约20%,可以节省支出费用。

然而,ASML新一代的NXT:1950i标榜可以因应到30奈米制程的技术,且产出速度更快,1小时?出可达175~200片晶圆,但旧机种XT:1950i可能只能因应到40奈米制程,届时如果要再导入30奈米世代制程,就要再花钱更新机台。

目前两阵营各有各的说词,美光阵营由于资金充裕且预定的时间点早,因此策略是倾向是一步到位,全数都采购最新的NXT:1950i,因应美光、南亚科和华亚科计划2011年将要开始导入35奈米,届时不用再更新机台。

然尔必达阵营确认为,旧机种XT:1950i虽然只能做到40奈米世代,但现在要抢时效比较重要,ImmersionScanner机台越早进入,越可以快速转进42奈米制程,拉进与同业间的距离,等到30奈米世代时,其实只要再补足一些机台就可以继续转进,并不需要全数更换。

DRAM业者认为,尔必达阵营为了抢时效采购XT:1950i世代的机器未必是坏事,如果现在不赶紧转进42奈米制程,光是靠63奈米制程支撑,虽然成本结构仍有优势,但却没有2Gb产品可以满足客户的需要。

DRAM业者进一步分析,尔必达一向擅长利用现有制程微缩,以最少的费用创造最大的效应,象是这次从65奈米微缩成的63奈米就是杰作之一,其成本效应和50奈米不相上下,但投资金额却降至最低。

未来到40奈米以下,尔必达也利用微缩技术的优势做了3个版本的技术,包括40奈米4F2技术、35奈米和38奈米,届时会看哪里个制程够成熟,再选择量产哪里项技术,若幸运的话,XT:1950i在未来1年半之内都可以持续使用,届时需要再添购部分的NXT:1950i机台时,ImmersionScanner机台的缺货荒可以早已解除。

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