MEMS将迎来第三次发展浪潮

MEMS迎来第三次浪潮

据ADI公司预测，先进、高性能的MEMS(微机电系统)加速计及陀螺仪将转换成各种不同的新型应用。因此，我们正在迎来一个应用MEMS的新浪潮，驱动这股浪潮的是人们对MEMS运动传感器能力的意识获得了提高。第一次浪潮是20世纪90年代由汽车安全系统驱动的;第二次浪潮是21世纪由消费类产品推动的。

ADI的副总裁兼总经理Mark Martin展示了发展图，由图1可见，工业和医疗是增长速度最快的领域。在对更高水平性能需求的推动下，ADI对机器人、机器安全监测以及便携式医药设备方面提供iMEMS和iSensor运动信号处理技术。

世界主要MEMS传感器供应商之一Bosch Sensortec公司CEO(首席执行官)Frank Melzer也认为今年MEMS将继续增长。他说，加速度计大批量交付给客户设备始于2006/2007年，并于此后经历了高速增长的阶段。由于移动电话已占据了最大的市场份额，因此，人们相信MEMS市场仍能进一步推动未来的成长。

Gartner公司调查总监Stephan Ohr从宏观上分析了MEMS的增长态势。Gartner把MEMS分为光学和非光学两大类。光学MEMS如TI公司的DLP(数字投影芯片)。非光学MEMS传感器年增长率16.2%(图2)，2010年市场容量会突破30亿美元，有望达到31亿美元;2009年为28亿美元。其中，汽车应用仍然保持非光学传感器的第一位，占2009年总应用中的60%以上;但是数据处理和通信应用增长最快，数据处理包括硬盘的G-Force(重力)传感器，通信中包括手机的可旋转(rational)的传感和基于位置的服务。

Yole Developpement公司给出了MEMS代工的发展(如图3)，也可以看到2010年以后，将迎来新一波浪潮。

消费类和手机用MEMS最热

目前各家的MEMS热点产品还是以消费电子和移动领域应用居多。iSuppli认为主要推动力在于：移动手持装置中的运动传感器、麦克风和多轴陀螺仪。但目前的问题是某些市场已经饱和，例如加速度计市场正在博弈，面临着残酷的价格侵蚀。现在面临多传感器包(box)的发展机遇。未来还将出现的亮点领域是：振荡器、开关和压变电容(varactor)、扬声器等。

iSuppli首席分析师兼总监Jérémie Bouchaud指出，游戏是MEMS最主要的应用领域。在手机方面，2009年4部手机中就有一部使用加速度计。

　MEMS的下一个热点是陀螺仪(图4)，陀螺仪有可能形成下一个加速度计现象。目前的焦点是3轴陀螺仪的竞争，手机中的运动芯片组现在出现了从3轴到10轴的多轴现象。Motorola公司手机市场份额的下滑影响了MEMS麦克风市场，因为2006和2007年Motorola的MEMS麦克风占领了移动电话市场的大半江山。尽管2009年业界整个MEMS麦克风市场总量与2008年基本持平，但Motorola的市场份额下降到20%左右。

Yole Developpement公司给出了MEMS市场的具体细分，如图5所示。