MEMS传感器价格一路下跌

MEMS传感器的种类繁多，包括单轴、双轴和振动传感器等High-g(重力加速度)加速计，以及单轴、双轴和三轴的low-g加速计，另外有角速度陀螺仪和多重传感器方案等。

在采购MEMS传感器，尤其是应用于消费性电子产品中时，MEMS传感器的价格、体积和功耗可说是最重要的三个关键。在价格方面，过去MEMS传感器多用于汽车领域，然而近几年，由于技术的进步，MEMS使用于消费性电子产品已越来越常见，且由于消费性电子产品，例如手机的价格敏感度极高，因此MEMS组件的价格呈现快速下降趋势。以MEMS传感器的主要种类——加速度传感器而言，其价格已由去年的1.5到2美元一路下降至现今的不到1美元，降幅可见一斑。

业者指出，以现今的价格来看，MEMS传感器将加速应用于消费性电子产品中，且应用的广度也将进一步扩增。另外，值得注意的是，目前手机产品的利润率仍在逐渐降低中，影响所及，MEMS传感器组件势必仍持续面临降价压力。

体积和功耗为采购关键

另在功耗和体积方面，意法半导体新近推出的MEME传感器便在这两方面有所突破。意法半导体指出，该公司新近推出的3轴加速计LIS3DH，其功耗比市场现有的解决方案减少90%以上，工作电流消耗最低为2μA，且封装体积缩小至3x3x1mm，适合空间和功耗均受限的应用设计，如手机、遥控器以及游戏机等。意法半导体MEMS传感器至今的累积出货量已达7亿颗，MEMS传感器主要于该公司专有8寸晶圆厂中生产制造。

此外，意法半导体日前推出针对消费性电子市场需求的L3G4200DH陀螺仪，亦是强调以更有效率的电源管理降低整体功耗。根据意法半导体指出，此内嵌先进电源管理功能的三轴陀螺仪，最大特色便是整合FIFO(FirstInFirstOut)内存模块，其最多可储存96个量值，可分成32个x-、y-和z-轴数据组合。这项功能可使主处理器不必连续读取传感器的角速率数据，因此能延长处理器在睡眠模式的时间，进而大幅降低系统总体功耗。

针对MEMS传感器的功耗，意法半导体部门副总裁暨MEMS、传感器和高性能模拟产品事业部总经理BenedettoVigna表示：“作为消费性电子市场最大的MEMS传感器供货商，我们持续为开发符合市场需求的产品而努力。由于消费性电子市场对于功耗的要求相当高，意法半导体的设计人员都在产品开发上融入功耗意识的设计概念，以进一步提高芯片和系统的效率。也是这一原因，我们在最新一代的加速度计和陀螺仪内嵌了应用层和FIFO内存模块。”

另外，在体积的议题上，此产品架构是将传感器与ASIC接口整合在一个4x4x1mm的超小型封装内，可解决现在和未来的消费性电子应用的空间限制问题。上述意法半导体产品都将于今年第三季量产。

再者，一如AppareoSystems嵌入式系统总监RobertWeinmann所言，我们之所以选择ADI公司的iMEMS陀螺仪，正是因为它完全符合我们客户的需求：尺寸小、重量轻且具有高性价比。由此言可知，体积为首要关键。

AppareoSystem是一家专业开发轻型飞行数据记录仪和3D飞行分析软件的公司，ADI公司则是针对AppareoSystems开发的一种新型航空器飞行安全与训练工具，提供一种高性能iMEMS陀螺仪技术。

对此，ADI公司MEMS和传感器技术部门副总裁MarkMartin表示：“ALERTSVision1000系统最初将部署在直升机中，用以采集和分析大量飞行数据，包括惯性和位置信息，如位置和俯仰/滚动姿态等，并且提供声学数据和驾驶舱影像，如仪表板和飞行控制装置等。ALERTSVision1000的成本与其他飞行数据记录仪相比极低，重量不足300克，只需28VDC(直流电压)电源和接地，可轻松安装在驾驶舱中。”

另外，InvenSense推出的ITG-3200三轴MEMS陀螺仪，则是在单一硅芯片上嵌入三轴旋转传感器(X轴：pitch、Y轴：roll、Z轴：yaw)的整合性陀螺仪，可作为游戏与3D遥控应用的运动处理技术解决方案。InvenSense表示，藉由创新的系统性整合与数字输出设计，ITG-3200能够满足市场对于成本的需求;同时，与其他多芯片组的竞争厂商相较，ITG-3200的耗电量不仅降低了50%以上，封装尺寸(4x4x0.9mmQFN)也缩小了67%左右。ITG-3200目前已开始试样，据InvenSense表示，该产品大量订购的单价将低于3美元。藉由InvenSense专利的Nasiri-Fabrication制程平台，该公司目前已产出约1亿个陀螺仪轴产品。