意法半导体与欧姆龙合作MEMS麦克风业务

意法合资公司意法半导体(STMicroelectronics)2009年11月25日宣布，将涉足MEMS麦克风业务。意法半导体将在单封装产品中集成该公司的ASIC及从欧姆龙购买的MEMS声波传感器芯片，作为数字输出MEMS麦克风产品销售。2009年12月开始样品供货，2010年第一季度开始量产供货。

此前很多企业涉足过MEMS麦克风业务，但成功事例却很少。对此意法半导体表示，“本公司可充分利用基于MEMS加速度传感器等积累的技术实力、生产能力及供应链的管理能力，与其他竞争公司相抗衡”(意法半导体APM部门副总裁兼MEMS和医疗保健产品部总经理Benedetto Vigna)。

另外，关于MEMS声波传感器芯片不是由该公司自主生产而是从欧姆龙采购这一点，Vigna表示，“没有必要全部自产。MEMS麦克风业务方面，我们需要与欧姆龙进行合作”。另外，MEMS声波传感器芯片由意法半导体及欧姆龙共同设计而成。

此次的MEMS麦克风具有S/N比高达60.5dB的特点，“作为数字输出产品达到了业界最高水平”(Vigna)。“通过利用MEMS声波传感器芯片、ASIC的性能以及在单封装内集成芯片及ASIC的技术，实现了较高的S/N比”(Vigna)。另外，外形尺寸为3mm×4mm×1mm，“尺寸并不比其他竞争公司的产品小”(Vigna)。

意法半导体与欧姆龙将利用各自的200mm晶圆生产线量产芯片。量产规模方面，两公司均采用200mm晶圆月产1万枚产品。