加速度计不再是MEMS专利 Epson完成石英加速度计开发

由于感测加速度与角速度等物理量变化并非硅微机电系统(MEMS)的专利，石英组件供货商Epson Toyocom亦预定在2010年推出以石英为基础的加速度感应器，以分食庞大的加速度感应器市场大饼。

Epson Toyocom开发技术统括部暨商品企划战略部课长宫泽辉久指出，该公司的石英加速度传感器开发已接近完成阶段，预计在2010年进行量产。

拜任天堂(Nintendo)的Wii游戏机和苹果(Apple)iPhone热潮所赐，加速度、角速度等感测组件也成当红炸子鸡，让硅微机电系统(MEMS)快速窜红。不过，石英组件也已蓄积能量，不愿错失此一商机。Epson Toyocom开发技术统括部暨商品企划战略部课长宫泽辉久指出，石英音叉本身除可产生稳定的频率频率外，在设计上略经修改后，也可以扮演加速感应器的角色。其动作原理在于外界施加的力量会改变石英音叉的共振频率，因此只要检测石英共振频率的变化，就能得知该力量的强度。

目前Epson Toyocom已开发出石英加速度传感器的原型，除了石英音叉本体外，该组件还包含其它周边电路，系负责将频域讯号转换成模拟电压输出。该公司预计将在2010年量产以石英为基础的第一款加速度传感器，。

事实上，石英晶体除了被用来产生频率讯号外，近年来也发展出许多不同的新应用，如角速度感测、压力感测等，均为石英组件已占有一席之地的领域。为持续扩大战果，Epson Toyocom的下一步计划便是进军规模更庞大的加速度感应器市场。

不过，石英加速度感应器并非无懈可击。例如与硅微机电系统加速度感应器相比，石英方案的尺寸无法像前者般持续微缩，难以实现三轴加速度感应功能。因此，宫泽认为，未来石英和硅感应器会自然而然地形成市场区隔，例如对高可靠度或侦测慢速移动的应用而言，石英方案会是比较理想的选择，因为石英传感器具备近乎免疫于温度变化的特性，且其噪声水平只有硅微机电的十分之一左右，因此特别适合用来侦测微小的加速度变化。