MEMS设备需求起　台厂实力还需加强

微机电(MEMS)前景看好，设备商机更诱人，但由于MEMS产品高度客制化的特性，在测试设备上不若以往的IC制程，有一套标准化的流程，因此在开发MEMS设备时，不仅需有硬件的底子，更加强调所谓的软实力，也就是软件开发，这对台系设备厂来说，恐怕将是一大挑战。

台系设备厂跨入MEMS领域者少之又少，在测试领域目前只有致茂切入，从致茂的发展历程来看，由过去在电力电子领域建立基础，其IC测试设备不同于同业使用通用模式设计，而是针对客户客制化设计，与同业最不同的在于强调Turnkey Solution，提供客户自动化生产线外，协助设立制造信息系统(MES)，将硬件与软件结合。在致茂400位研发人员中，有3分之1专门从事软件研发，在设备业中比例相当高。

台系设备业者指出，过去台系设备厂在IC生产设备著墨并不深，若要进入MEMS领域，恐怕难度依然相当高。MEMS元件相较于传统IC，多了机械部分，而且其动态特性相当细微，较传统IC来的复杂许多，因此在测试上也增加对于软件的依赖性，对于向来专精于硬件设计的台厂来说，有相当大的难度。

根据国际半导体设备材料产业协会(SEMI)的统计，随著MEMS元件市场的成长，MEMS设备需求可望从2005年的6.13亿美元，成长至2010年的8.61美元。MEMS材料则从预估从2005年的3.85亿美元，成长至2010年的7.71亿美元。

台系设备业者表示，从终端应用市场来看，苹果(Apple)、Sony及任天堂(Nintendo)等皆在消费性产品中，运用MEMS元件，NB业界吹起的轻薄风潮，也带起对于体积较小的MEMS麦克风需求，晶圆制造厂台积电、联电也相继跨入发展，虽然尚未见爆发性的商机，然而已被视为是半导体业界未来的明日之星，台系设备厂必须更加紧脚步。