惠普向第三方授权纳米压印光刻技术
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加州Nanolithosolutions公司日前获得了惠普实验室授权的一项纳米压印光刻技术,该技术可用于生产线宽只有15纳米的电路板原型。
对此,公司首席执行官Bo Pi称:“利用惠普的该项技术,我们可以从事生物芯片、光子芯片,以及相关应用的研究。”
利用惠普的新技术,Nanolithosolutions已经开发出一套工具。该款工具包含一个模块和掩模对准器,可用于创建基片上的晶体管模式。
据悉,该款工具简单易用,成本低廉,可以将普通的掩模对准器变成高分辨率的纳米压印光刻机。