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[导读]LASTPOWER项目组公布了为期三年由欧盟资助的功率半导体项目开发成果。以研发高成本效益且高可靠性的功率电子技术为目标,涉及工业、汽车、消费电子、再生能源转换系统和电信应用。项目开发成果让欧洲挤身于世界高能效

LASTPOWER项目组公布了为期三年由欧盟资助的功率半导体项目开发成果。以研发高成本效益且高可靠性的功率电子技术为目标,涉及工业、汽车、消费电子、再生能源转换系统和电信应用。项目开发成果让欧洲挤身于世界高能效功率芯片研究商用的最前沿。

欧洲纳电子计划顾问委员会(ENIAC)联盟(JU)是纳米工业上市公司与私营企业的联盟组织,于2010年4月启动了LASTPOWER项目,聚集了宽带隙半导体(SiC和GaN)领域的私营企业、大学和公共研究中心。该联盟成员包括项目协调人意法半导体(意大利)、LPE/ETC(意大利)、InstituteforMicroelectronicsandMicrosystemsoftheNationalResearchCouncil–IMM-CNR(意大利)、FoundationforResearch&Technology-Hellas–FORTH(希腊),NOVASiC(法国)、ConsorzioCataniaRicerche-CCR(意大利)、InstituteofHighPressurePhysics–Unipress(波兰)、UniversitàdellaCalabria(意大利)、SiCrystal(德国)、SEPSTechnologies(瑞典)、SenSiC(瑞典)、Acreo(瑞典)、,AristotleUniversityofThessaloniki-AUTH(希腊)。

碳化硅主要研发成果基于SiCrystal公司展示的偏轴2°截止角的150mm直径的大面积4H-SiC衬底。在晶体结构和表面粗糙度方面,材料质量兼容项目启动时的标准100mm4°偏轴材料。在LPE/ETC,这些衬底用于中度掺杂的外延层的外延生长,适用于加工600-1200VJBS(结势垒肖特基)二极管和MOSFET,项目组为在大面积(150mm)4H-SiC上生长外延开发了一个创新的CVD(化学汽相淀积)反应堆。

外延层质量让意法半导体能够在工业生产线上制造JBS结势垒肖特基二极管。第一批晶圆特征分析显示,电气性能与先进的4°偏轴材料相当。在这种情况下,关键工序是在NOVASiC上实现化学机械抛光(CMP)-StepSiC®填充和平面化,对于外延层生长前的衬底制备和器件活动层表面粗糙度亚纳米控制,该工序是一个关键问题。在这个项目内,同一企业还取得了用于加工MOSFET和JFET的外延生长能力。

项目组与意法半导体、IMM-CNR公司进行SiO2/SiC接口的合作研发,以改进4H-SiCMOSFET晶体管的沟道迁移率。

最后,项目组与Acreo、FORTH合作开发出了用于高温4H-SiCJFET和MOSFET的全新技术模块,为可靠封装解决方案模塑化合物和无铅芯片连接材料研究提供CCR支持。

LASTPOWER项目还从事在功率电子应用中使用基于GaN器件的研究。特别是意法半导体在150mmSi衬底上生长AlGaN/GaNHEMT外延层结构的开发取得了成功,外延层长至3µm,抗击穿电压能力高达200V。LASTPOWER与IMM-CNR、Unipress和意法半导体合作,采用一种“无金”方法开发常关型AlGaN/GaNHEMT器件。该制程模块完全兼容意法半导体生产线要求的芯片制造流程,目前正在整合至HEMT生产线。项目成员在材料生长和制造工艺方面开展的卓有成效的合作互动,让业界向单片集成GaN和SiC器件的目标迈出重要一步,这两项技术在2°偏轴4H-SiC衬底上均取得成功。

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