MEMS应用是PZT薄膜未来发展的驱动力
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2013年9月,爱普生公司宣布其新一代喷墨打印技术与精密核,第一次推出采用PZT薄膜技术制造的MEMS喷墨头。此发明已得到大力地宣传。首先,薄膜压电MEMS应用已出现在市场上,证明该技术的可靠性和成熟度。其次,更多喷墨头制造商将很快跟进。Yole半导体制造市场与技术分析师克莱尔·特罗阿代克解释道:“薄膜压电材料在MEMS产业中日益受到重视。尽管半导体制造公司在过去不愿意将这种特殊材料引入其生产线,而现在每一个主要的MEMS代工企业都致力于在MEMS制造工艺中使用压电薄膜。”