日本产综研利用MEMS技术实现静电传感器的小型化

日本产业技术综合研究所开发出了基于MEMS（微电子机械系统）技术的静电传感器，并在“日本Nano Micro Business展”（东京有明国际会展中心，7月5日闭幕）上进行了展示。

        
试制系统 （点击放大）       

 传感器模块（左下）和传感器部分（右下） （点击放大）
       传感器部分安装有借助悬臂悬浮的微小电极。带静电荷的物体靠近传感器后，微小电极的电位就会发生变化，根据这一变化就能测出静电容量。试制的传感器部分的尺寸约为数mm见方，可轻松实现阵列化。使用实现了阵列化的传感器，还能测量静电的表面分布。

       为了准确测量，需要振动悬臂，使静电容量发生周期性变化。悬臂利用PZT的致动器驱动。试制器件在200mm的晶圆上形成，PZT用溶胶-凝胶法成膜。（记者：三宅 常之，Tech-On！）