无锡美新：若价格降至0.02美元/轴，全球用量将达到1万亿个

每两年举行一次的微传感器与致动器国际会议“TRANSDUCERS 2013”在西班牙巴塞罗那开幕。

       据法国调查公司Yole Developpement的调查数据，MEMS销售额排在第一位的意法半导体2012年的MEMS销售额突破了10亿美元，比上年增长约10％，其中70％以上是由惯性传感器贡献的。另一方面，最近1年惯性传感器的单价下跌了20～30％，意法半导体的销售额之所以增加是因为销量增加了50％以上。由此可见，便携信息设备的用户界面和导航功能越来越重要，MEMS的应用范围今后也会越来越广。

       在“Accelerometer”会议上，第一个发表演讲的是美国美新公司创始人赵阳（论文序号M4A.001）。他的演讲技术性内容较少，不过他指出，传感器价格下降市场就会扩大，并表示美新在SOC（system on a chip）领域将开发小型低价的多传感器。赵阳还指出，现在加速度传感器的价格为0.1美元/轴左右，几年内将降到现在的一半，如果降到0.02美元/轴，全球的使用量将达到1万亿个。

       现在，集成有加速度传感器、陀螺仪及电子罗盘的组合传感器尺寸已经降至4mm×4mm×1mm左右。虽然为进一步减小尺寸，美新公司采用TSV（硅通孔）以减小焊盘在芯片上占用面积，但已接近极限。今后，会考虑SOC的方式。当然，这不同于选择KGD（known good die）进行组装的方法，问题是如何确保成品率和构建工艺。美新公司公布的SOC构造图如图1所示。采用的是基于金属-金属晶圆接合技术的晶圆级封装，这是最近的流行趋势。笔者的研究室也在开发相关的关键技术。（特约撰稿人：田中 秀治，日本东北大学）

图1：美新公布的基于晶圆级封装的SOC多传感器的构造 （点击放大）